L'hydroxyde de tétraméthylammonium (TMAH) est un sel d'ammonium quaternaire largement utilisé, un liquide incolore, généralement trouvé dans des solutions concentrées d'eau ou de méthanol. Bien que le TMAH pur soit pratiquement inodore, le composé peut avoir une forte odeur de poisson en raison d'une impureté courante : la triméthylamine. Industriellement, le TMAH est utilisé dans diverses applications, de la fabrication de semi-conducteurs à la chimie analytique, et sa forte alcalinité a suscité des inquiétudes quant à ses effets sur la santé.
La formule moléculaire du TMAH est N(CH3)4+ OH−. La forme la plus courante est sa solution aqueuse, avec une plage de concentrations d'environ 2 à 25 %. À haute température, le TMAH est relativement stable et sa demi-vie peut dépasser 61 heures dans NaOH 6M. Sa solution peut générer du sel de tétraméthylamine par réaction acide-base.
"TMAH est une base très solide."
Le TMAH est utilisé comme divers solvants dans l'industrie des semi-conducteurs, en particulier dans le développement de photorésists acides. Il élimine efficacement la résine photosensible et excelle dans la gravure anisotrope du silicium. Non seulement le TMAH contrôle mieux la contamination par les ions métalliques, mais il fournit également une surface lisse dans une plage de température spécifique.
"TMAH offre des performances supérieures à des températures de gravure de 70 à 90°C."
Cependant, le TMAH présente également toute une série de risques pour la santé. Selon des recherches, les ions hydroxyde de tétraméthylammonium ont des effets sur les systèmes nerveux et musculaire, ce qui peut provoquer des difficultés respiratoires, une paralysie musculaire et même la mort. Le mécanisme de cette toxicité vient de sa liaison aux récepteurs de l’acétylcholine de type nicotine dans le système nerveux, ce qui la rend puissante au niveau des jonctions nerveuses. Dans certains accidents industriels, des intoxications et des décès ont été signalés suite à une exposition à de faibles concentrations de solutions de TMAH.
"Les brûlures chimiques dues à l'exposition au TMAH sont très graves."
En réponse aux dangers potentiels du TMAH, de nombreuses organisations industrielles ont commencé à formuler des règles de sécurité strictes. Par exemple, les travailleurs industriels doivent porter un équipement de protection pour éviter tout contact direct avec le TMAH. En outre, le stockage et la manipulation des produits chimiques doivent également respecter des normes spécifiques pour garantir la sécurité.
Dans l'ensemble, le TMAH est largement utilisé comme base solide dans l'industrie, mais il comporte également des risques sanitaires importants. À mesure que ce composé est mieux compris, l’industrie doit accroître les contrôles et les précautions pour assurer la sécurité des travailleurs. Par conséquent, pensez-vous que des mesures de sécurité adéquates peuvent réduire efficacement les risques pour la santé du TMAH ?