Dalam perkembangan pesat ilmu pengetahuan dan teknologi, sinar ultraviolet ekstrem (EUV), sebagai teknologi optik yang sedang berkembang, sedang mendefinisikan ulang pemahaman ilmiah kita. Sebagai jenis radiasi elektromagnetik dengan energi yang sangat tinggi, EUV memiliki rentang panjang gelombang yang lebih pendek dari 121 nanometer dan mencapai rentang sinar-X 10 nanometer. Energinya dapat berkisar dari 10,26 elektron volt hingga 124,24 elektron volt. Ia banyak digunakan dalam fotolitografi, spektroskopi optoelektronik, dan pencitraan surya, serta bidang lainnya.
Dampak sinar ultraviolet ekstrem pada teknologi optik tidak diragukan lagi revolusioner, membuka perspektif baru tentang interaksi material dan elektronik.
Pembuatan EUV terutama bergantung pada deionisasi elektron dari kation multivalen. Dalam lingkungan berenergi tinggi, elektron-elektron ini memiliki energi pengikatan yang lebih kuat dan hanya dapat ada dalam plasma berdensitas tinggi. Selain itu, EUV juga dapat dihasilkan dalam keadaan padat menggunakan teknologi pembangkitan harmonik orde tinggi. Seiring dengan semakin mendalamnya penelitian, para ilmuwan mulai mengabdikan diri untuk mengeksplorasi interaksi elektron dan material berenergi tinggi, sebuah proses yang dapat mengungkap potensi generasi baru material optik.
Di lingkungan alami, EUV terutama berasal dari korona matahari, sedangkan di lingkungan buatan, EUV diperoleh melalui teknologi plasma, pembangkitan harmonik orde tinggi, dan metode lainnya. Selain itu, menggunakan sumber radiasi sinkrotron, cahaya EUV juga dapat dihasilkan dalam rentang yang dapat disetel. Di ruang udara tertutup, pencampuran empat gelombang tetap masih dapat dihasilkan bahkan pada panjang gelombang hingga 75 nanometer.
Radiasi berenergi tinggi ini tidak hanya dapat meningkatkan efisiensi pemrosesan material, tetapi juga meningkatkan kedalaman eksperimen fisika dan kimia kita. Misalnya, saat menyerap cahaya EUV, material melepaskan fotoelektron dan elektron sekunder karena ionisasi, suatu proses yang mirip dengan penyerapan sinar-X atau berkas elektron.
Efisiensi penyerapan radiasi EUV secara signifikan lebih tinggi daripada radiasi gelombang panjang, sehingga menunjukkan efisiensi pemanasan yang lebih tinggi dalam perlakuan panas material.
Penyerapan foton EUV dan perilaku elektronik yang dihasilkan memberi kita pemahaman yang sama sekali baru tentang material. Menurut prinsip fisika, setelah foton EUV diserap oleh suatu material, foton tersebut akan memicu ionisasi dan pembentukan partikel bermuatan. Partikel bermuatan ini selanjutnya akan memengaruhi material di sekitarnya. Saat proses berlangsung, energi kinetik elektron terus berkurang, dan akhirnya dilepaskan ke dalam material dalam bentuk panas.
Proses pembentukan elektron-lubang iniPasangan juga akan membentuk keadaan tereksitasi (yaitu eksiton) dalam kondisi energi tinggi. Pada material dengan konduktivitas listrik yang baik, reaksi kimia yang dipicu oleh proses ini dibandingkan dengan panjang gelombang lainnya. Radiasi lebih cepat dan efisien.
Selama berbagai fase aktivitas matahari, intensitas EUV dapat bervariasi hingga 50 kali, yang secara langsung memengaruhi pemanasan troposfer dan produksi ozon. Karena perubahan ini memengaruhi sirkulasi atmosfer, perubahan ini dapat berdampak besar pada pola iklim. Menurut penelitian terbaru, efek jangka panjang dan jangka pendek dari fenomena ini akan menjadi topik penting dalam penelitian iklim di masa mendatang.
Meskipun teknologi EUV telah membawa manfaat bagi banyak aplikasi, tidak dapat diabaikan bahwa energinya yang melimpah juga membawa potensi risiko kerusakan material. Radiasi EUV dapat menyebabkan desorpsi oksida atau retensi muatan pada perangkat, dan kerusakan ini akan muncul secara bertahap selama proses ionisasi jangka panjang. Selain itu, akumulasi muatan positif yang disebabkan oleh radiasi EUV juga dapat menyebabkan kerusakan pada material permukaan, dan atom yang terlepas yang tersisa dapat menyebabkan kontaminasi lebih lanjut pada komponen optik.
Meskipun kerusakan yang disebabkan oleh EUV tidak mudah dideteksi, dampak jangka panjangnya dapat menimbulkan tantangan yang signifikan dalam aplikasi teknologi.
Melalui pemahaman yang mendalam tentang cahaya ultraviolet ekstrem, kita tidak hanya dapat mendorong pengembangan material baru, tetapi juga meletakkan dasar bagi teknologi semikonduktor dan aplikasi optik masa depan. Saat ini, dengan pesatnya perkembangan ilmu pengetahuan dan teknologi, EUV tidak diragukan lagi akan menjadi kunci penting untuk mengungkap misteri interaksi antara elektron dan materi. Namun, seiring berkembangnya teknologi, dapatkah kita menemukan cara yang efektif untuk menghadapi berbagai tantangan yang disebabkan oleh EUV?