水酸化テトラメチルアンモニウム (TMAH) は広く使用されている第 4 級アンモニウム塩で、通常は水またはメタノールの濃縮溶液中に含まれる無色の液体です。純粋な TMAH は事実上無臭ですが、一般的な不純物であるトリメチルアミンにより、この化合物は強い生臭さを持つ場合があります。工業的には、TMAHは半導体製造から分析化学までさまざまな用途に使用されており、その強アルカリ性により健康への影響が懸念されています。
TMAH の分子式は N(CH3)4+ OH- であり、最も一般的な形態はその水溶液であり、濃度範囲は約 2 ~ 25% です。高温では、TMAH は比較的安定しており、その半減期は 6M NaOH 中で 61 時間を超えることがあります。その溶液は酸塩基反応によりテトラメチルアミン塩を生成します。
「TMAH は非常に強力な塩基です。」
TMAH は、半導体産業、特に酸性フォトレジストの開発でさまざまな溶媒として使用されます。フォトレジストを効果的に除去し、シリコンの異方性エッチングに優れています。 TMAH は金属イオン汚染をより適切に制御するだけでなく、特定の温度範囲内で滑らかな表面を提供します。
「TMAH は、70 ~ 90 °C のエッチング温度で優れたパフォーマンスをもたらします。」
しかし、TMAH はさまざまな健康リスクも引き起こします。研究によると、水酸化テトラメチルアンモニウムイオンは神経系や筋肉系に影響を及ぼし、呼吸困難、筋肉麻痺、さらには死に至る可能性があります。この毒性のメカニズムは、神経系のニコチン型アセチルコリン受容体への結合に由来し、神経接合部で強力になります。一部の労働災害では、低濃度の TMAH 溶液への曝露による中毒や死亡が報告されています。
「TMAH への曝露による化学熱傷は非常に深刻です。」
TMAH の潜在的な危険に対応して、多くの業界団体が厳格な安全規制を策定し始めています。たとえば、産業従事者は、TMAH との直接接触を避けるために保護具を着用する必要があります。さらに、化学物質の保管と取り扱いも、安全性を確保するために特定の基準に従う必要があります。
全体として、TMAH は業界の強力な基盤として広く使用されていますが、重大な健康リスクも伴います。この化合物の理解が進むにつれて、業界は労働者の安全を守るために管理と予防措置を強化する必要があります。したがって、適切な安全対策が TMAH の健康被害を効果的に軽減できると思いますか?