Гидроксид тетраметиламмония (ТМАГ) представляет собой широко используемую соль четвертичного аммония, бесцветную жидкость, обычно встречающуюся в концентрированных растворах воды или метанола. Хотя чистый ТМАГ практически не имеет запаха, его соединение может иметь сильный рыбный запах из-за распространенной примеси: триметиламина. В промышленности ТМАГ используется в самых разных областях, от производства полупроводников до аналитической химии, а его сильная щелочность вызывает опасения по поводу его воздействия на здоровье.
Молекулярная формула ТМАГ: N(CH3)4+ OH-. Наиболее распространенной формой является водный раствор с диапазоном концентраций примерно 2-25%. При высоких температурах ТМАГ относительно стабилен, а период его полураспада может превышать 61 час в 6 М NaOH. Его раствор может генерировать соль тетраметиламина посредством кислотно-щелочной реакции.
"TMAH — очень сильная база".
ТМАГ используется в качестве различных растворителей в полупроводниковой промышленности, особенно при разработке кислотных фоторезистов. Он эффективно удаляет фоторезист и превосходно анизотропно травит кремний. ТМАГ не только лучше контролирует загрязнение ионами металлов, но и обеспечивает гладкую поверхность в определенном температурном диапазоне.
«TMAH обеспечивает превосходную производительность при температуре травления от 70 до 90 °C».
Однако TMAH также представляет ряд рисков для здоровья. Согласно исследованиям, ионы гидроксида тетраметиламмония оказывают воздействие на нервную и мышечную системы, что может вызвать затруднение дыхания, паралич мышц и даже смерть. Механизм этой токсичности обусловлен его связыванием с ацетилхолиновыми рецепторами никотинового типа в нервной системе, что делает его эффективным в нервных соединениях. Сообщалось о некоторых промышленных авариях, отравлениях и смерти в результате воздействия даже низких концентраций растворов ТМАГ.
«Химические ожоги от воздействия ТМАГ очень серьезны».
В ответ на потенциальную опасность ТМАГ многие промышленные организации начали разрабатывать строгие правила техники безопасности. Например, промышленным работникам необходимо носить защитное оборудование, чтобы избежать прямого контакта с ТМАГ. Кроме того, для обеспечения безопасности хранение и обращение с химикатами также должны соответствовать определенным стандартам.
В целом, TMAH широко используется в качестве мощной основы в промышленности, но он также сопряжен со значительными рисками для здоровья. Поскольку это соединение становится более понятным, отрасль должна усилить контроль и меры предосторожности, чтобы обеспечить безопасность работников. Таким образом, считаете ли вы, что адекватные меры безопасности могут эффективно снизить опасность для здоровья, связанную с ТМАГ?