Language
Country/Area
No result found
Удивительная трансформация низкотемпературного поликремния: как переписать будущее технологий отображения информации?
В связи с непрерывным развитием технологий производства дисплеев низкотемпературный поликремний (LTPS) в последние несколько лет играет важную роль. Технология позволяет производить поликремний при относительно низких температурах (около 650 °C и ниже), что особенно важно для современных дисплеев, поскольку большие стеклянные панели не выдерживают высоких температур. В результате технология LTPS становится ключевой при производстве плоских ЖК-дисплеев и датчиков изображения.
Технология низкотемпературных поликремниевых дисплеев может стать важной частью будущего производства электронных устройств.
Развитие поликремния
Поликристаллический кремний (p-Si) — это высокочистый и проводящий кремний, состоящий из множества зерен с высокоупорядоченной структурой решетки. В 1984 году исследования показали, что аморфный кремний (a-Si) является отличным прекурсором для формирования пленок p-Si, которые позволяют добиться стабильной структуры и низкой шероховатости поверхности. В процессе производства тонких кремниевых пленок обычно используется метод химического осаждения из паровой фазы при низком давлении (LPCVD) для уменьшения шероховатости поверхности. Аморфный кремний сначала осаждают при температуре от 560 до 640°C, а затем подвергают термическому отжигу (рекристаллизации) при температуре от 950 до 1000°C. Исходя из аморфной пленки, в конечном итоге получается продукт с тонкой структурой.
Применение в ЖК-дисплеях
Аморфные кремниевые TFT широко используются в плоских жидкокристаллических дисплеях (ЖК-панелях), поскольку их можно собирать в сложные сильноточные схемы управления. Развитие LTPS-TFT привело к повышению разрешения устройства, снижению температуры синтеза и снижению стоимости подложки. Однако LTPS-TFT также имеет некоторые недостатки. Например, в традиционных устройствах a-Si площадь TFT большая, что приводит к малому эффективному пропусканию света (т. е. площади, не заблокированной TFT), что ограничивает его применение в сложных схемах. применение.
Потенциал LTPS заключается в его высокой эффективности и важности в технологии отображения информации.
Процесс лазерного отжига
Отжиг лазером XeCl (ELA) является первым ключевым методом плавления аморфного кремниевого материала для получения p-Si. Этот метод позволяет успешно кристаллизовать аморфный кремний (толщиной 500–10000Å) в поликристаллический кремний без нагрева подложки. Полученный поликремний имеет более крупные зерна, что обеспечивает TFT улучшенную подвижность электронов и снижает потери производительности из-за рассеяния на границах зерен. Эта технология позволяет успешно интегрировать сложные схемы в ЖК-дисплеи.
Разработка оборудования LTPS-TFT
Успех LTPS-TFT зависит не только от усовершенствования самого TFT, но и от инновационной схемы. Благодаря новейшим технологиям была разработана пиксельная схема, в которой выходной ток через транзистор не зависит от порогового напряжения, что обеспечивает равномерную яркость. В приложениях управления OLED-дисплеями обычно используется технология LTPS-TFT из-за ее высокого разрешения и возможности адаптации к большим панелям. Однако изменения в структуре LTPS могут привести к несогласованным пороговым напряжениям сигналов, что приведет к неравномерной яркости. Поэтому улучшение характеристик TFT и литографии имеет решающее значение для развития технологии OLED с активной матрицей LTPS.
Расцвет технологии LTPO
Низкотемпературный поликристаллический оксид (LTPO) — это технология OLED-дисплеев, разработанная компанией Apple, которая объединяет технологии LTPS TFT и оксидного TFT (оксид индия и цинка, IGZO). В LTPO схема переключения использует LTPS, а управляющий TFT — материал IGZO. Это позволяет экрану динамически регулировать частоту обновления в зависимости от отображаемого контента, обеспечивая эффективное использование энергии как для статических изображений, так и для динамического контента. Дисплеи LTPO пользуются популярностью из-за увеличенного времени автономной работы.
Достижения в области технологии дисплеев LTPO могут изменить наши ожидания и требования к устройствам отображения.
В целом, важность технологии низкотемпературного поликремния для будущего технологий отображения информации нельзя недооценивать. Какую форму примут решения для отображения информации следующего поколения с появлением более инновационных технологий?
