Trong thời đại công nghệ phát triển nhanh chóng như hiện nay, công nghệ sản xuất chất bán dẫn chắc chắn là một trong những động lực cốt lõi thúc đẩy sự phát triển của ngành công nghiệp. Từ điện thoại di động đến máy tính, từ đồ gia dụng đến thiết bị công nghiệp, hầu như tất cả các sản phẩm điện tử đều không thể tách rời sự hỗ trợ của vi mạch. Các mạch này được hình thành dần dần trên tấm wafer thông qua một loạt các quy trình sản xuất phức tạp và tinh vi.
Quy trình sản xuất thiết bị bán dẫn thường bao gồm nhiều bước như quang khắc, xử lý hóa học, oxy hóa nhiệt và lắng đọng màng mỏng. Các quy trình này dần dần tạo ra mạch điện tử và cuối cùng tạo thành các vi mạch hoàn chỉnh.
Quy trình sản xuất chất bán dẫn có thể được chia thành một số bước chính. Bước đầu tiên là chuẩn bị wafer, thường bao gồm việc vệ sinh và khử nhiễm nhiều lần đối với silicon tinh thể đơn để đảm bảo độ tinh khiết của môi trường sản xuất. Sau đó, một lớp màng cản quang được phủ lên bề mặt của tấm wafer, sau đó được phơi sáng theo mẫu thiết kế và được tráng để tạo thành mẫu mong muốn.
Sau đó, các vùng dẫn điện khác nhau được hình thành trên wafer thông qua quá trình cấy ion. Quá trình này rất quan trọng vì nó ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất của các thành phần tiếp theo.
Kích thước của wafer đã tăng dần từ 1 inch trong những ngày đầu lên 300 mm hiện tại. Sự thay đổi này không chỉ để nâng cao hiệu quả sản xuất mà còn để đáp ứng nhu cầu của thị trường về chip hiệu suất cao, mật độ cao.
Tại các nhà máy sản xuất wafer tiên tiến, quy trình sản xuất gần như được tự động hóa hoàn toàn và các wafer được vận chuyển từ thiết bị này sang thiết bị khác bằng hệ thống xử lý vật liệu tự động, cực kỳ hiệu quả.
Để ngăn ngừa ô nhiễm môi trường ảnh hưởng đến các tấm bán dẫn, phải duy trì môi trường "phòng sạch" sạch bên trong nhà máy bán dẫn. Các tấm wafer được vận chuyển trong các hộp nhựa kín đặc biệt (FOUP) và phần bên trong thường phải được bảo quản trong môi trường nitơ để tránh quá trình oxy hóa của dây đồng, điều này rất quan trọng đối với hoạt động bình thường của chất bán dẫn hiện đại.
Khi công nghệ tiến bộ, kích thước tính năng của quy trình cũng đang thu hẹp lại. Trước đây, đặc điểm quy trình thường được thể hiện bằng nanomet (nm), nhưng hiện nay một số quy trình tiên tiến thậm chí có thể đạt tới 5nm. Tất cả điều này đã dẫn đến sự cải thiện đáng kể về hiệu suất chip và giảm mức tiêu thụ điện năng.
Mặc dù loạt thay đổi này đã thúc đẩy sự tiến bộ của ngành công nghiệp bán dẫn, nhưng cũng mang đến những thách thức mới, đặc biệt là trong quy trình thiết kế và sản xuất.
Với sự gia tăng của các ứng dụng như Internet of Vehicles và trí tuệ nhân tạo, nhu cầu về chất bán dẫn sẽ tiếp tục tăng. Nhiều công ty không ngừng khám phá các công nghệ mới, hy vọng duy trì hiệu suất ổn định và năng suất sản xuất tốt trong khi thu hẹp quy mô.
Tuy nhiên, khi quy trình sản xuất phát triển theo hướng tiên tiến hơn, nhiều hiện tượng vật lý nhỏ bắt đầu ảnh hưởng đến thiết kế và hiệu suất của các thành phần. Đây là một lĩnh vực đáng để khám phá thêm.
Bản tóm tắtTrong quá trình sản xuất vi mạch, vô số công nghệ chuyên nghiệp và thiết bị tiên tiến kết hợp với nhau để cho phép chúng ta nhìn thấy những sản phẩm điện tử có vẻ đơn giản nhưng lại chứa đầy bí ẩn. Những mạch vi mô đó được tạo ra trên tấm wafer như thế nào? Công nghệ bán dẫn trong tương lai sẽ mang lại cho chúng ta những khả năng cải tiến nào?