在1986年和1988年,A.R. Forouhi和I. Bloomer提出的色散方程为薄膜光学领域的研究开启了新的篇章。这些方程描述了光子如何在不同能量下与薄膜材料互动,而这一特性对于各种应用,尤其是微制造和光学元件的开发,至关重要。从第一性原理的量子力学出发,Forouhi-Bloomer方程让我们能够掌握折射率(n)和消光系数(k)随光子能量(E)的变化,这对理解材料的光学行为至关重要。
Forouhi-Bloomer方程不仅限于小范围内的应用,还能扩展到固态物理学中的各种情况。
这些方程式被广泛接受,并在1991年被纳入《光学常数手册》中,这进一步证实了它们在光学研究中的基本角色。 Forouhi-Bloomer的色散方程涵盖了非晶和结晶材料,能透过光谱反射率工具,根据光子能量E与折射率n和消光系数k进行计算。这些值可随着光的波长改变,也就是说,n和k的光谱可以被表达为波长λ的函数。
此方程的核心原理在于它能够准确预测材料在不同光能下的光学行为。
为了导出Forouhi-Bloomer方程,研究人员首先从量子力学的第一原理出发,制定出消光系数k随光子能量的表达式。接着根据Kramers-Kronig关系,提出了折射率n作为消光系数k的Hilbert变换。这些方程的五个参数——A、B、C、Eg和n(∞)分别具有物理意义,其中Eg代表材料的光学能隙,A、B和C则与材料的能带结构相关。
这些光学常数可以被视为材料的「指纹」,因为它们描绘了材料与入射光的互动模式。在微制造行业中,各种基材上的薄膜材料涂层提供了至关重要的功能,折射率n、消光系数k和薄膜厚度t的测量与控制是这些功能实现的关键。
Forouhi-Bloomer方程不仅适用于半导体和介电质,还能描述透明导体和金属化合物等多种材料。
在薄膜的表征过程中,光学常数的测量经常需要间接进行。可测量的量包括光谱反射率R(λ)和光谱透射率T(λ),这些都是根据薄膜的光学特性得到的数据。挑战在于从反射或透射光谱中提取出n和k的光谱,以及薄膜的厚度。为了解决这个问题,研究人员通常会结合Forouhi-Bloomer方程与Fresnel方程,获得物理上有效的反射率和透射率的表达式。
以非晶矽薄膜为例,测量中发现这种薄膜在n(λ)和k(λ)光谱中表现出一个宽广的峰,而随着材料向结晶态过渡,这个峰逐渐转变为几个尖锐的峰。这样的变化特性使得研究者能够更好地了解不同材料的光学行为,并采用Forouhi-Bloomer方程来调整测量模式。
薄膜光学的发展不仅依赖于对材料特性的理解,还包括对测量方法的持续创新。
总结而言,Forouhi-Bloomer色散方程为研究和应用薄膜光学提供了无价的理论基础,无论是在半导体技术还是透明导体的开发中都具有重要的实用价值。未来随着微制造领域的进步,这些方程将继续发挥关键作用,并可能会在更广泛的材料科学领域找到新的应用途径。因此,您是否也在思考,Forouhi-Bloomer方程如何推动材料科学的未来发展?