皮秒超聲波技術,利用超短光脈衝產生的超高頻聲波,正為測量技術開啟全新篇章。這種非破壞性技術能有效滲透於薄膜或納米結構中,揭示其內部特徵,例如膜厚度、裂縫、分層和空洞等現象。隨著科技的進步,皮秒超聲波逐漸成為半導體加工行業的主流手段,並在多個領域中展現出其高精度的檢測能力。
當一束稱為泵脈衝的超短光脈衝聚焦到薄膜上時,光能的吸收會引發熱膨脹,進而產生彈性應變脈衝。
這一過程中,生成的應變脈衝主要由縱向聲子組成,這些聲子作為協調脈衝直接傳播進入薄膜。在薄膜-基底界面反射後,應變脈衝會返回薄膜表面,因此可通過延遲的光探測脈衝來檢測,透過光反射或在薄膜極薄的情況下利用透射變化來進行。
吸收的光泵脈衝在樣本表面附近產生局部熱應力,這會推動彈性應變脈衝進入樣本內部。
這一過程的深度受材料特性及光泵波長影響。例如,在金屬和半導體中,超短時刻的熱與載流子擴散會增大初期加熱的深度。通常來說,所產生的聲脈衝持續時間與加熱深度之間的傳遞時間相等。
返回至表面的應變脈衝會生成一系列的回聲,利用這些回聲可以推導出薄膜厚度、超聲波衰減和超聲波色散等重要參數。
最初,皮秒超聲波的檢測機制基於光電效應。由於回聲的應變脈衝會干擾樣本表面附近的折射率及消光係數,這使得光的反射或傳輸發生變化。隨著技術的進步,檢測涉及表面位移的技術也被引入,例如超快光束偏轉和干涉儀技術。
隨著皮秒超聲波技術的廣泛應用,這項技術已被成功應用於各類材料的分析中,無論是固體還是液體。特別是在納米結構的探測上,如亞微米薄膜、多層結構、量子井及半導體異質結構,其應用價值日益凸顯。此外,科學家們還開始利用這一技術來探測單個生物細胞的機械性質。
隨著對皮秒超聲波技術的深入研究,這一技術在未來或將在測量精度、範圍及應用領域上取得更大的突破。面對不斷變化的科技需求,我們能否期待皮秒超聲波在更廣泛的領域內發揮革命性的影響力呢?