Tetrametilamonium hidroksida (TMAH) adalah garam amonium kuarterner yang banyak digunakan, cairan tak berwarna, biasanya ditemukan dalam larutan pekat air atau metanol. Meskipun TMAH murni hampir tidak berbau, senyawa tersebut dapat memiliki bau amis yang kuat karena pengotor yang umum: trimetilamina. Secara industri, TMAH digunakan dalam berbagai aplikasi, mulai dari manufaktur semikonduktor hingga kimia analitik, dan alkalinitasnya yang kuat telah menimbulkan kekhawatiran tentang dampaknya terhadap kesehatan.
Rumus molekul TMAH adalah N(CH3)4+ OH−. Bentuk yang paling umum adalah larutan berairnya, dengan kisaran konsentrasi sekitar 2-25%. Pada suhu tinggi, TMAH relatif stabil, dan waktu paruhnya dapat melebihi 61 jam dalam NaOH 6M. Larutannya dapat menghasilkan garam tetrametilamina melalui reaksi asam-basa.
"TMAH adalah basa yang sangat kuat."
TMAH digunakan sebagai berbagai pelarut dalam industri semikonduktor, khususnya dalam pengembangan fotoresist asam. Ia secara efektif menghilangkan fotoresist dan unggul dalam etsa silikon anisotropik. TMAH tidak hanya mengendalikan kontaminasi ion logam dengan lebih baik, tetapi juga menyediakan permukaan yang halus dalam kisaran suhu tertentu.
"TMAH menghadirkan kinerja yang unggul pada suhu etsa 70 hingga 90°C."
Namun, TMAH juga menimbulkan berbagai risiko kesehatan. Menurut penelitian, ion tetrametilamonium hidroksida memiliki efek pada sistem saraf dan otot, yang dapat menyebabkan kesulitan bernapas, kelumpuhan otot, dan bahkan kematian. Mekanisme toksisitas ini berasal dari ikatannya dengan reseptor asetilkolin jenis nikotin dalam sistem saraf, yang membuatnya ampuh di persimpangan saraf. Dalam beberapa kecelakaan industri, keracunan dan kematian telah dilaporkan akibat paparan larutan TMAH, bahkan dalam konsentrasi rendah.
"Luka bakar kimia akibat paparan TMAH sangat serius."
Menanggapi potensi bahaya TMAH, banyak organisasi industri telah mulai merumuskan peraturan keselamatan yang ketat. Misalnya, pekerja industri perlu mengenakan peralatan pelindung untuk menghindari kontak langsung dengan TMAH. Selain itu, penyimpanan dan penanganan bahan kimia juga perlu mengikuti standar khusus untuk memastikan keselamatan.
Secara keseluruhan, TMAH banyak digunakan sebagai bahan dasar yang kuat dalam industri, tetapi juga disertai dengan risiko kesehatan yang signifikan. Seiring dengan pemahaman yang lebih baik tentang senyawa ini, industri harus meningkatkan kontrol dan tindakan pencegahan untuk menjaga keselamatan pekerja. Oleh karena itu, menurut Anda apakah tindakan keselamatan yang memadai dapat secara efektif mengurangi bahaya kesehatan akibat TMAH?