Benz Gerhard Dr | Researchain

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Archive | 1995

Verfahren zur Bearbeitung von Silizium

Benz Gerhard Dr; Muenzel Horst Dipl Phys Dr; Laermer Franz Dr; Schilp Andrea

Archive | 1995

Anordnung zur Ankopplung wenigstens einer Lichtleitfaser an wenigstens ein optisches Empfangs- oder Sendeelement und ein Verfahren zur Herstellung der Anordnung

Mueller-Fiedler Roland Dipl Ph; Benz Gerhard Dr

Archive | 1996

Anordnung zur Umsetzung von optischen in elektrische Signale und Verfahren zur Herstellung

Gruenwald Werner Dipl Phys Dr; Benz Gerhard Dr; Mayer Klaus-Michael Dr; Seibold Annette Dipl Phys

Archive | 1995

Method for producing micromechanical components

Benz Gerhard Dr; Marek Jiri Dr Ing Dr; Willmann Martin Dr Ing Dr; Bantien Frank Dipl Phys Dr; Muenzel Horst Dipl Phys Dr; Laermer Franz Dr; Offenberg Michael Dr Ing Dr; Schilp Andrea

Archive | 1996

Acceleration sensor with spring-mass systems which includes transverse beam

Benz Gerhard Dr; Laermer Franz Dr; Uhler Werner Dipl Phys Dr; Schilp Andrea

Archive | 1994

Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmapolymerschutzschicht auf Werkstücken, insbesondere Scheinwerferreflektoren

Schneider Guenter Dipl Ing; Benz Gerhard Dr; Hahn Juergen

Archive | 1992

VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON TEILEN

Mutschler Gerda; Schneider Guenter Dipl Ing; Waller Gerhard Dr; Benz Gerhard Dr

Archive | 1995

Force sensor and process for producing a force sensor

Zabler Erich Dipl Ing Dr; Benz Gerhard Dr; Schirmer Juergen Dr; Laermer Franz Dr; Uhler Werner Dipl Phys Dr; Schilp Andrea

Archive | 1991

VORRICHTUNG ZUM BEHANDELN VON SUBSTRATEN IN EINEM DURCH MIKROWELLEN ERZEUGTEN, GASGESTUETZTEN PLASMA

Schneider Guenter Dipl Ing; Benz Gerhard Dr

Archive | 1995

MANUFACTURE OF MICROMECHANICAL CONSTITUENT ELEMENT

Benz Gerhard Dr; Marek Jiri Dr Ing Dr; Willmann Martin Dr Ing Dr; Bantien Frank Dipl Phys Dr; Muenzel Horst Dipl Phys Dr; Laermer Franz Dr; Offenberg Michael Dr Ing Dr; Schilp Andrea

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