Bernd Foeste

Semiconductor device including a pressure sensor

Semiconductor structure with lamella defined by singulation trench

Method of Providing a Semiconductor Structure with Forming A Sacrificial Structure

Halbleiterbauelement, das einen Drucksensor umfasst

Test circuit arrangement

Method for preparing semiconductor structure i.e. micro-electromechanical pressure sensor, involves removing portion of main surface of substrate opposite to other main surface to depth of trenches

Verfahren zum Bereitstellen einer Halbleiterstruktur mit Bilden einer Opferstruktur

Verfahren zum Bereitstellen einer Halbleiterstruktur mit Bilden einer Opferstruktur A method for providing a semiconductor structure with forming a sacrificial structure

A semiconductor device comprising a pressure sensor

Beschleunigungssensor Acceleration sensor