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Archive | 1997

Ion implanter electron shower having enhanced secondary electron emission

Peter Lawrence Kellerman; James David Bernstein; Brian Scott Freer


Archive | 2008

METHOD AND SYSTEM FOR GROWING A THIN FILM USING A GAS CLUSTER ION BEAM

John J. Hautala; Michael A. Graf; Yan Shao; Brian Scott Freer


Archive | 1998

Secondary electron emission electron shower for an ion implanter

James David Bernstein; Brian Scott Freer; Peter L. Kellerman


Archive | 2000

Method and device for cleaning contaminated surface in iron impregnating device

James David Bernstein; Brian Scott Freer; Peter Miltiadis Kopalidis; デビッド バーンスタイン ジェームズ; ミルティアディス コパリディス ピーター; スコット フリーア ブリアン


Archive | 2009

Method for growing a thin film using a gas cluster ion beam

John J. Hautala; Michael A. Graf; Yan Shao; Brian Scott Freer; Martin D. Tabat


Archive | 2007

Verfahren und systeme zur verfolgung von ionenstrahlteilchen und zur fokussierung eines ionenstrahls

Peter L. Kellerman; Victor Beneveniste; Alexander S. Perel; Brian Scott Freer; Michael A. Graf


Archive | 2000

Vorrichtung und Verfahren zur Säuberung von kontaminierten Oberflächen in einem Ionen-Implantierungsgerät Apparatus and method for cleaning of contaminated surfaces in an ion implanter

James David Bernstein; Peter Miltiadis Kopalidis; Brian Scott Freer


Archive | 1998

Sekundäremission-Elektronenquelle für Ionenimplantierungsgerät Secondary emission electron source for ion implanter

James David Bernstein; Brian Scott Freer; Peter L. Kellerman


Archive | 1998

Polarisierte und gezahnte Verlängerungsröhre für diffuse Elektronenquelle in einem Ionenimplantierungsgerät Polarized and toothed extension tube for diffuse electron source in an ion implanter

James David Bernstein; Brian Scott Freer; Peter L. Kellerman


Archive | 1998

Polarized and toothed extension tube for diffuse electron source in an ion implanter

James David Bernstein; Brian Scott Freer; Peter L. Kellerman

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