Chen Ruoyu

含Si-O-P键的减反膜结构及性能影响因素研究

采用SiO 2 水溶胶(ACS)为硅源, H 3 PO 4 为桥联剂, H 2 O 2 为活化剂在玻璃表面成功制备了一种性能优异的新型减反膜。利用FTIR、XRD、FESEM、TEM、AFM对薄膜结构、形成机理及性能进行了研究, 结果表明, 在成胶过程中, H 2 O 2 的导入有效修复了SiO 2 胶粒的表面羟基, 提高了SiO 2 的反应活性; 而在焙烧过程中, H 3 PO 4 通过其自身脱水形成的偏磷酸链状体分别与SiO 2 胶粒及玻璃基底表面的Si-OH进行了脱羟基缩聚, 构架了坚固的Si-O-P网络交联, 最终形成了稳定的磷硅酸盐凝胶网络结构, 提高了成膜质量。当 n (H 3 PO 4 ) : n (H 2 O 2 ) : n (EtOH) : n (SiO 2 )= 0.49: 0.52: 30: 1时, 制备的SiO 2 减反膜在可见光区平均透光率高达98%, 硬度可达6H.