Frank Herrmann

Thermopile-IR-Arrays mit höchstem Auflösungsvermögen

Zusammenfassung Thermopile-Sensor-Arrays sind eine kostengünstige Alternative für die Aufnahme von Wärmebildern mit geringeren Anforderungen an die räumliche Auflösung. Durch Einführung neuer Herstellungstechnologien, insbesondere einer modifizierten monolithischen CMOS-Technologie mit geringen Strukturgrößen und strukturgenauer Oberflächenmikromechanik, ist es möglich geworden, Thermopilearrays mit Auflösungen von derzeit bis zu 3968 Bildpunkten herzustellen. Neuartige Verpackungstechnologien mit Gasen geringer Wärmeleitfähigkeit führen zu erhöhten Sensitivitätswerten von 400 V/W. Mit der Einführung von Vakuumgehäusen konnten sogar Sensitivitätswerte von 800 V/W gemessen werden.