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Dive into the research topics where Franz Schilling is active.

Publication


Featured researches published by Franz Schilling.


Archive | 2014

Verfahren zur Kantenverrundung von Halbleiter-Wafern

Drescher, Wolfram, Dr.-Ing.; Jan Richter; Stefan Eichler; Franz Schilling


Archive | 2018

LASERKONDITIONIERUNG VON FESTKÖRPERN MIT VORWISSEN AUS VORHERIGEN BEARBEITUNGSSCHRITTEN

Marko Swoboda; Ralf Rieske; Jan Richter; Franz Schilling


Archive | 2018

LASER CONDITIONING OF SOLID BODIES USING PRIOR KNOWLEDGE FROM PREVIOUS MACHINING STEPS

Marko Swoboda; Ralf Rieske; Jan Richter; Franz Schilling


Archive | 2016

Verfahren zum Führen eines Risses im Randbereich eines Spendersubstrats

Marco Swoboda; Christian Beyer; Franz Schilling; Jan Richter


Archive | 2016

Method for making a crack in the edge portion of a donor substrate, using an inclined laser beam

Marko Swoboda; Christian Beyer; Franz Schilling; Jan Richter


Archive | 2016

Verfahren zum verlustarmen Herstellen von Mehrkomponentenwafern

Wolfram Drescher; Franz Schilling; Jan Richter


Archive | 2016

Method for guiding a crack in the peripheral region of a donor substrate

Marko Swoboda; Christian Beyer; Franz Schilling; Jan Richter


Archive | 2015

Kombiniertes Waferherstellungsverfahren mit Erzeugung einer Ablöseebene und der Ablösung einer Festkörperschicht entlang der Ablöseebene

Wolfram Drescher; Franz Schilling; Jan Richter


Archive | 2015

Verfahren zum verlustarmen Herstellen von Mehrkomponentenwafern A method for low-loss producing multicomponent wafers

Wolfram Drescher; Franz Schilling; Jan Richter


Archive | 2015

Verfahren zum Führen eines Risses im Randbereich eines Spendersubstrats A method for guiding a tear in the edge region of a donor substrate

Marko Swoboda; Christian Beyer; Franz Schilling; Jan Richter

Collaboration


Dive into the Franz Schilling's collaboration.

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