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Frohberg Kai

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Featured researches published by Frohberg Kai.

Archive | 2007

Halbleiterbauelement mit einem vertikalen Entkopplungskondensator

Lehr Matthias; Frohberg Kai; Schwan Christof

Archive | 2011

Verfahren zur Herstellung eines Feldeffekttransistors mit einer verspannten Kontaktätzstoppschicht mit geringerer Konformität und Feldeffekttransistor

Frohberg Kai; Feustel Frank; Werner Thomas

Archive | 2010

Verfahren zur Herstellung von Kontaktisolationsschichten und Silizidgebieten mit unterschiedlichen Eigenschaften eines Halbleiterbauelements und Halbleiterbauelement

Schwan Christof; Frohberg Kai; Lehr Matthias

Archive | 2017

Verfahren und Halbleiterstruktur zur Überwachung der Herstellung von Verbindungsstrukturen und Kontakten in einem Halbleiterbauelement

Lehr Matthias; Frohberg Kai; Schuehrer Holger

Archive | 2016

Verfahren zur Herstellung eines Metallisierungssystem eines Halbleiterbauelements mit zusätzlich verjüngten Übergangskontakten

Feustel Frank; Werner Thomas; Frohberg Kai

Archive | 2014

Verfahren und Teststruktur zum Bestimmen von Fokuseinstellungen in einem Lithographieprozess auf der Grundlage von CD-Messungen

Werner Thomas; Feustel Frank; Frohberg Kai

Archive | 2014

Verfahren zum zuverlässigen Einbetten von Metallsilizidkontaktgebieten in stark dotierte Drain- und Sourcegebiete durch eine Silizidstoppschicht und entsprechendes Halbleiterbauelement

Heinrich Jens; Feustel Frank; Frohberg Kai

Archive | 2013

Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements mit Kontaktdurchführungen mit unterschiedlicher Größe durch Aufteilen des Kontaktlochstrukturierungsprozesses

Feustel Frank; Werner Thomas; Frohberg Kai

Archive | 2012

Teststruktur mit erhöhter Robustheit im Hinblick auf Barrieredefekte in Kontaktlochöffnungen beim Abschätzen von Elektromigrationseffekten sowie dazugehöriges Herstellungsverfahren

Feustel Frank; Frohberg Kai; Werner Thomas

Archive | 2011

Feldeffekttransistor mit einer verspannten dielektrischen Schicht auf der Grundlage einer(-) Bauteiltopographie sowie Halbleiterbauelement bzw. Verfahren zur Herstellung eines Feldeffekttransistors

Schwan Christof; Horstmann Manfred; Frohberg Kai; Stephan Rolf

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Collaboration

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Werner Thomas

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Lehr Matthias

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Schwan Christof

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Horstmann Manfred

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Press Patrick

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Schwan Christoph

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Stephan Rolf

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