Gerhard Dr. Seebacher

Eigenschaften dünner glimmpolymerisierter schichten

Zusammenfassung Dunne Dielektrikumsschichten, die durch Glimmentladung aus Gasen zyklischer Monomerer — Cyclohexan und Perfluorcyclobutan — hergestellt wurden, sind amorph und besitzen im Vergleich zu konventionell polymerisierten Kunststoffen viele Quervernetzungen. Ihr Isolationswiderstand ist vergleichbar mit dem kompakter Kunststoffe. Die der Strom-Spannungscharakteristik zugrunde liegenden Leitungsmechanismen sind weder durch Schottky- noch durch Poole-Frenkel-Effekt exakt zu klaren. Wegen ihrer Homogenitat zeigen auch grosse Flachen dieser Schichten sehr hohe Durchschlagsfeldstarken.