Hans Jansen
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Publication
Featured researches published by Hans Jansen.
Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering | 2006
B. Streefkerk; J. Mulkens; Richard Moerman; M. Stavenga; J. van der Hoeven; Cedric Desire Grouwstra; R. Bruls; Martinus Hendrikus Antonius Leenders; S. Wang; Y. van Dommelen; M. Boerema; Hans Jansen; Kevin Cummings; M. Riepen; H. Boom; M. Suddendorf; P. Huisman
This paper discusses the types and formation of immersion defects. It is shown that drying stains and water marks are the main immersion defects. The immersion defects are related to resist leaching, water penetration and droplet formation. It is shown that scanner immersion hood design based on an actuated air gap and air curtain droplet clean-up minimizes defect counts. Additionally, pre-and post soaks steps in the track can reduce drying stains and water marks. The defect performance is evaluated on XT:1250i and XT:1400i systems. It is shown that the immersion defect density can go as low as 0.01 /cm2, which is well below the ITRS 2005 number of 0.03 /cm2.
Archive | 2004
Johannes Jacobus Matheus Baselmans; Jeroen Johannes Sophia Maria Mertens; Sjoerd Nicolaas Lambertus Donders; Christiaan Alexander Hoogendam; Hans Jansen; Johannes Catharinus Hubertus Mulkens; Bob Streefkerk
Archive | 2006
Leenders Martinus Hendrikus Antonius; Noud Jan Gilissen; Klaas Van Der Schoot Harmen; Mulkens Johannes C Hubertus; Hernes Jacobs; Hans Jansen; Nicolaas Ten Kate; Nicolaas Rudolf Kemper; Erik Roelof Loopstra; Marco Koert Stavenga; Peter Paul Steijaart; Bob Streefkerk; Der Hoeven Jan Cornelis Van; Martinus Cornelis Maria Verhagen; Markus Martinus Petrus Adrianus Vermaelen; デル スホート，ヘルメン，クラース ヴァン; デル フーフェン，ジャン コルネリス ヴァン; ケンパー，ニコラース，ルドルフ; ジャンセン，ハンス; スタベンガ，マルコ，クールト; ステイヤールト，ペーテル，パウル; ストリーフケルク，ボプ; カテ，ニコラース テン; ヒリッセン，ナウド，ヤン; フェルハーヘン，マルチヌス，コルネリス，マリア; フェルメーレン，マルクス，マルチヌス，ペトルス，アドリアヌス; マルケンス，ヨハネス，キャサリヌス，ハーバータス; ヤーコブス，ヘルネス; リーンダース，マルチヌス，ヘンドリカス，アントニアス; ループストラ，エリック，ロエロフ
Archive | 2007
Marco Koert Stavenga; Hans Jansen; Peter Franciscus Wanten; Johannes Wilhelmus Jacobus Leonardus Cuijpers; Raymond Gerardus Marius Beeren
Archive | 2007
Martinus Hendrikus Antonius Leenders; Youri van Dommelen; Hans Jansen; Robert Watso; Anthonius Martinus Cornelis Petrus De Jong; Jan Willem Cromwijk; Thomas Laursen
Archive | 2007
Anthonius Martinus Cornelis Petrus De Jong; Hans Jansen; Martinus Hendrikus Antonius Leenders; Antonius Johannus Van Der Net; Peter Franciscus Wanten; Jacques Cor Johan Van der Donck; Robert Watso; Teunis Cornelis Van Den Dool; Nadja Schuh; Jan Willem Cromwijk
Archive | 2007
Anthonius Martinus Cornelis Petrus De Jong; Hans Jansen; Marco Koert Stavenga; Peter Franciscus Wanten; Bauke Jansen; Johannes Wilhelmus Jacobus Leonardus Cuijpers; Raymond Gerardus Marius Beeren; Kornelis Tijmen Hoekerd
Archive | 2005
Johannes Jacobus Matheus Baselmans; Alexander Hoogendam Christiaan; Sjoerd Nicolaas Lambertus Donders; Hans Jansen; Johannes Sophia Maria Mertens Jeroen; Aleksey Yurievich Kolesnychenko; Johannes Catharinus Hubertus Mulkens; Felix Godfried Peter Peeters; Bob Streefkerk; Franciscus Johannes Herman Maria Teunissen; Santen Helmar Van; ユリーヴィチ コレスニーチェンコ アレクセイ; アレクサンダー ホーゲンダム クリスティアーン; ヨハネス ソフィア マリア メルテンス ジェロエン; ニコラース ラムベルテュス ドンデルス ショエルト; ヤンセン ハンス; ゴッドフリート ペーター ペータース フェリックス; ヨハネス ヘルマン マリア テウニッセン フランシスクス; ファン サンテン ヘルマー; ストレーフケルク ボブ; キャサリヌス フーベルトゥス ムルケンス ヨハネス; ヤコブス マテウス バゼルマンス ヨハネス
Archive | 2008
Roelof Frederik De Graaf; Hans Jansen; Bauke Jansen; Hubertus Leonardus Franciscus Heusschen
Archive | 2008
Anthonius Martinus Cornelis Petrus De Jong; Hans Jansen; Martinus Hendrikus Antonius Leenders; Paul Blom; Ronald Kramer; Michel van Putten; Ariel de Graaf
