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Dive into the research topics where Herman Vogel is active.

Publication


Featured researches published by Herman Vogel.


Archive | 2011

Immersion photolithography system and method using microchannel nozzles

Herman Vogel; Klaus Simon; Antonius Theodorus Anna Maria Derksen


Archive | 2004

Immersion photolithography system comprising microchannel nozzles

Antonius Theodorus Anna Maria Derksen; Klaus Simon; Herman Vogel


Archive | 2004

IMMERSION PHOTOLITHOGRAPHIC SYSTEM AND METHOD OF USING MICROCHANNEL NOZZLE

Theodorus Anna Maria Derksen Antonius; Klaus Simon; Herman Vogel; テオドルス アンナ マリア デルクセン アントニウス; シーモン クラウス; フォーゲル ハーマン


Archive | 2004

Methods and systems for compact, micro-channel laminar heat exchanging

Herman Vogel


Archive | 2004

Lithographic apparatus and manufacturing method of device

Stefan Philip Christiaan Belfroid; Henrikus Herman Marie Cox; Sjoerd Nicolaas Lambertus Donders; Roelof de Graaf; Maria Teunissen Franciscus Johannes Herman; Christiaan Alexander Hoogendam; Nicolaas Ten Kate; Nicolaas Rudolf Kemper; Jeroen Johannes Sophia Maria Mertens; Johannes Petrus Maria Smeulers; Der Meulen Frits Van; Der Toorn Jan-Gerard C Van; Martinus Cornelis Maria Verhagen; Herman Vogel; アレクサンダー ホーゲンダム クリスティアン; ヨハネス ソフィア マリア メルテンス ジェローン; ニコラス ラムベルテュス ドンデルス シュールト; フィリップ クリスティアン ベルフロイド シュテファン; テン ケイト ニコラス; ルドルフ ケンパー ニコラス; ヨハネス ヘルマン マリア テュニセン フランシスクス; ファン デル モイレン フリッツ; フォゲル ヘルマン; ヘルマン マリー コックス ヘンリクス; コーネリス マリア フェルハーゲン マルティヌス; ジェラルド コーネリス ファン デル トーン ヤン; ペトルス マリア スモイレルズ ヨハネス; フレデリック デ グラーフ ロエロフ


Archive | 2005

Laminar flow gas curtains for lithographic applications

Herman Vogel; Michael J. Parisi


Archive | 2004

Proximity sensor nozzle shroud with flow curtain

Herman Vogel


Archive | 2005

METHOD FOR COMPACT MICRO CHANNEL LAMINATED HEAT EXCHANGE, AND ITS SYSTEM

Herman Vogel; フォーゲル ハーマン


Archive | 2003

Method and system for active purging of pellicle volumes

Ci Florence Luo; Herman Vogel; George Hilary Harrold; Nicolaas Ten Kate


Archive | 2006

Immersion lithography proximity sensor having a nozzle shroud with flow curtain

Herman Vogel

Collaboration


Dive into the Herman Vogel's collaboration.

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