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Klaus Mümmler

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Featured researches published by Klaus Mümmler.

Archive | 2005

Method for manufacturing an integrated semiconductor device

Stefan Tegen; Klaus Mümmler; Peter Baars

Archive | 2001

Application of alignment marks to wafer

Wolfgang Diewald; Klaus Mümmler

Archive | 2001

Method for applying adjusting marks on a semiconductor disk

Wolfgang Diewald; Klaus Mümmler

Archive | 2007

Verfahren zum Herstellen einer integrierten Schaltung und Anordnung mit einem Substrat A method of fabricating an integrated circuit device comprising a substrate and

Peter Baars; Klaus Mümmler; Stefan Tegen

Archive | 2007

Herstellungsverfahren für eine integrierte Schaltung, entsprechende integrierte Schaltungszwischenanordnung und entsprechende integrierte Schaltung Manufacturing process for an integrated circuit, an integrated circuit corresponding intermediate assembly and corresponding integrated circuit

Klaus Mümmler; Stefan Tegen

Archive | 2006

Transistor-Feld für Halbleiterspeicherbauelemente und Verfahren zum Herstellen eines Feldes von Transistoren mit vertikalem Kanal

Andreas Thies; Klaus Mümmler

Archive | 2005

Auswahltransistor-Feld, Halbleiterspeicherbauelement und Verfahren zum Herstellen eines Auswahltransistor-Feldes Selection transistor array, semiconductor memory device and method for producing a selection transistor array

Klaus Mümmler; Andreas Thies

Archive | 2005

Herstellungsverfahren für eine Halbleiterstruktur mit einer Mehrzahl von überstehend gefüllten Isolationsgräben Manufacturing method of a semiconductor structure having a plurality of protruding isolation trenches filled

Peter Baars; Klaus Mümmler; Stefan Tegen

Archive | 2005

Semiconductor structure production, involves removing oblation layer based on two intermediate layers and filling, and immersing one layer at ditch walls around preset height to form gap between filling and semiconductor substrate

Peter Baars; Klaus Mümmler; Stefan Tegen

Archive | 2005

Transistor-Feld für Halbleiterspeicherbauelemente und Verfahren zum Herstellen eines Feldes von Transistoren mit vertikalem Kanal Transistor field for semiconductor memory devices and methods of manufacturing an array of transistors with a vertical channel

Klaus Mümmler; Andreas Thies

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