Lajos Nyarsik

New grazing incidence microscope for the measurement of topography with a 2lambda-algorithm

Interferometers with grazing incidence and visible light offer a fast and practicable solution for waviness and roughness testing in mechanical engineering without the necessity of scanning. Therefore, the possibility to use the grazing incidence of light onto the specimen is considered. The experimentally proved new optical layout for the grazing incidence interference microscope with a piezo-driven mirror for phase-shifting is based on a special optical stage with a hologram as a beam deflector. The object surface is sharply imaged onto the hologram, where an interference pattern is caused by the topography of the surface under test. Then, the diffracted light of the first order is imaged by a second optical stage onto a CCD-camera chip and the fringe pattern evaluation is carried out with a phase- shifting algorithm. Additionally a 2(lambda) -algorithm was implemented in the evaluation software. The necessary variation of (lambda) is generated by a small computer- controlled variation of angle of incident of light ont he specimen surface. First measurement results of objects with continuous and discontinuous surfaces demonstrate the possibilities and the limitations of the new experimental approach.

Optische Messungen an Dünngläsern für die Displayherstellung

Es werden zwei Methoden und Aufbauten für die optische und damit kraftfreie Messung zum einen für die Ebenheitsabweichung und Makrowelligkeit und zum anderen für die Mikrowelligkeit von ausgedehnten Dünnglasscheiben beschrieben. Der erste Meßaufbau basiert auf einem Triangulationsverfahren mit einer telezentrischen Schräglichtbeleuchtung in Verbindung mit einer CCD-Zeilenkamera und einem rechnergesteuerten Lineartisch. Die Mikrowelligkeit wird mit einem zweiten Aufbau mit einem Mach-Zehnder-Interferometer bestimmt, welches den Einfluß der Rückseitenreflexion auf das Interferogramm mittels einer ausgedehnten Lichtquelle und Schräglichtbeleuchtung eliminiert. Die experimentellen Ergebnisse zeigen die Möglichkeiten der dargestellten Meßverfahren.