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Publication
Featured researches published by Liu Zhiguo.
无机材料学报 | 2014
Zhu Xinhua; Li Aidong; Liu Zhiguo
扫描透射电子显微镜(STEM)原子序数衬度像(Z-衬度像)具有分辨率高(可直接“观察”到晶体中原子的真实位置)、对化学组成敏感以及图像直观易解释等优点, 成为原子尺度研究材料微结构的强有力工具。本文介绍了STEM Z-衬度像成像原理、方法及技术特点, 并结合具体的高K栅介质材料 (如铪基金属氧化物、稀土金属氧化物和钙钛矿结构外延氧化物薄膜)对STEM在新一代高K栅介质材料研究中的应用进行了评述。 目前球差校正STEM Z-衬度的像空间分辨率已达亚埃级, 该技术在高K柵介质与半导体之间的界面微结构表征方面具有十分重要的应用。对此, 本文亦进行了介绍。
Journal of Inorganic Materials | 2014
Zhu Xinhua; Li Aidong; Liu Zhiguo
扫描透射电子显微镜(STEM)原子序数衬度像(Z-衬度像)具有分辨率高(可直接“观察”到晶体中原子的真实位置)、对化学组成敏感以及图像直观易解释等优点, 成为原子尺度研究材料微结构的强有力工具。本文介绍了STEM Z-衬度像成像原理、方法及技术特点, 并结合具体的高K栅介质材料 (如铪基金属氧化物、稀土金属氧化物和钙钛矿结构外延氧化物薄膜)对STEM在新一代高K栅介质材料研究中的应用进行了评述。 目前球差校正STEM Z-衬度的像空间分辨率已达亚埃级, 该技术在高K柵介质与半导体之间的界面微结构表征方面具有十分重要的应用。对此, 本文亦进行了介绍。
Archive | 2016
Kang Yumei; Li Junping; Wang Suili; Liu Zhiguo; Wang Xiaohui; Chang Yanhu; Li Shuanlin; Zhang Yajuan
Archive | 2014
Li Junping; Che Ping; Cheng Yuhai; Liu Zhiguo; Zhu Xinhua; Liu Lei; Wu Xiaobing; Xue Long; Zou Yong
Archive | 2014
Chang Yanhu; Guo Fang; Liu Zhiguo; Zhu Xinhua
Archive | 2013
Li Junping; Ji Minting; Che Ping; Sun Lixiong; Zhang Jianfeng; Liu Zhiguo; Wang Suili; Cheng Yuhai; Zhu Xinhua
Archive | 2013
Liu Zhiguo; Li Junping; Zhu Xinhua; Che Ping; Guo Fang
Archive | 2017
Wang Zhixiang; Xue Hongqiang; Liu Zhiguo; Xue Changli
Archive | 2017
Wang Zhixiang; Li Junping; Liu Zhiguo; Che Ping; He Yanping; Hua Suwen
Archive | 2017
Liu Zhiguo; Hou Yong; Zhu Xinhua; Li Junping; Liu Zhigang; Yuan Jun; Ma Zenggang; Dong Xiangyang
