Noriko Makiishi
Kawasaki Steel Corporation
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Publication
Featured researches published by Noriko Makiishi.
Bunseki Kagaku | 1991
Noriko Makiishi; Akira Yamamoto; Teruo Okano; Yasuharu Matsumura
ウエハ上のタングステンシリサイド(WSix)膜とボロホスホシリケイト(BPSG)膜についてX線マイクロアナライザー(EPMA)による組成定量法を検討した.基板シリコンの影響を防止するため電子の侵入深さが浅い低加速電圧法を採用し,分析深さと感度を基準に加速電圧や分析線など最適な測定条件を決定した.又定量補正(ZAF)条件及びカーボン蒸着による強度減衰の補正法も検討した.その結果WSix膜ではタングステンのMα線(WMα)とケイ素のKα線(SiKα)を用いれば分析深さがサブミクロンレベルで制御できること,ZAFの原子番号補正にはPhilibert-Tixier法が適していることが分かった.加速電圧10kVで0.5μmの膜を分析した結果,タングステンとケイ素のモル比xの分析精度σは0.02(x=2.42)であった.BPSG膜では加速電圧5kVが組成分析に最適で,20kVで酸素のKα線(OKα)強度を測定すれば膜厚も分析できることが分かった.カーボン蒸着によるX線強度の減衰は同時に測定した炭素のKα線(CKα)強度を用いて補正した.検量線の正確さσdは,ホウ素濃度が0.12wt%(測定範囲2～5wt%),リン濃度が0.10wt%(2～5wt%),膜厚が170Å(3000～11000Å)であった.
Archive | 2008
Yuka Nishihara; Takeshi Suzuki; Noriko Makiishi; Takumi Tanaka; Hiroki Iwasa; Norihiko Nakamura; Kaoru Sato; Takashi Kawano
Archive | 2004
Masahiko Tada; Yoichi Tobiyama; Kazuaki Kyono; Noriko Makiishi; Hisato Noro
Archive | 2004
Kazuaki Kyono; Noriko Makiishi; Hisato Noro; Masahiko Tada; Yoichi Tobiyama; 一章 京野; 雅彦 多田; 規子 槙石; 寿人 野呂; 洋一 飛山
Archive | 2006
Junichiro Hirasawa; Takako Yamashita; Noriko Makiishi; Etsuo Hamada; Takumi Ujiro; Osamu Furukimi
Archive | 2010
Shinsuke Ide; Tomohiro Ishii; Naoki Nishiyama; Shin Ishikawa; Takumi Ujiro; Noriko Makiishi
Archive | 2012
Noriko Makiishi; Hisato Noro; Shin Ishikawa; Shinsuke Ide; Tomohiro Ishii; Masayasu Nagoshi
Archive | 2002
Noriko Makiishi; Susumu Sato; Akira Yamamoto; 佐藤 進; 山本 公; 槇石 規子
Archive | 2008
Yuka Nisihara; Takeshi Suzuki; Noriko Makiishi; Takumi Tanaka; Hiroki Iwasa; Norihiko Nakamura; Kaoru Sato; Takashi Kawano
Archive | 2003
Kazuaki Kyono; Noriko Makiishi; Kaoru Okuyama; Susumu Sato; Yoshitsugu Suzuki; 一章 京野; 佐藤 進; 薫 奥山; 規子 槇石; 善継 鈴木
