Philippe Gayet

Method of forming insulated metal interconnections in integrated circuits

Process for the determination of the complete removal of a thin film on a non-planar substrate

Method for determining the complete elimination of a thin layer on a non planar substrate

Verfahren zur Bestimmung der vollständigen Abtragung einer Dünnschicht auf einem nichtplanaren Substrat.

Integrated circuit and its manufacturing method

Method for making isolated metal interconnects in integrated circuits

Procédé de réalisation d'interconnexions métalliques isolées dans des circuits intégrés

Integrated circuit with etch stop layer

Procédé de détermination de l'élimination complète d'une couche mince sur un substrat non plan

Verfahren zur Bestimmung der vollständigen Abtragung einer Dünnschicht auf einem nichtplanaren Substrat. Process for the determination of the complete ablation of a thin film on a non-planar substrate.