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Archive | 2015

Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Bauelements

Magenau Horst; Schatz Frank; Glock Armin; Krauss Elke; Schittny Thomas; Jauernig Alexandra; Glas Ronald


Archive | 1996

Verfahren zur Herstellung einer Lochscheibe

Arndt Stefan; Hahn Dietmar; Fuchs Heinz; Flik Gottfried; Dantes Guenter; Moersch Gilbert; Nowak Detlef; Heyse Joerg; Walz Beate; Schatz Frank


Archive | 2011

Magnetfeldsensor und Verfahren zur Herstellung eines Magnetfeldsensors

Schatz Frank; Fuchs Tino; Feyh Ando


Archive | 1999

Drallscheibe und Brennstoffeinspritzventil mit Drallscheibe

Heinbuch Petra; Schatz Frank; Glock Armin; Trutschel Ralf; Flik Gottfried; Dantes Guenter; Nowak Detlef; Heyse Joerg; Schittny Thomas; Hackenberg Juergen; Glas Ronald


Archive | 2015

Montagekörper für Mikrospiegelchips, Spiegelvorrichtung und Herstellungsverfahren für eine Spiegelvorrichtung

Doessel Kerrin; Pinter Stefan; Pantel Daniel; Rohlfing Franziska; Schatz Frank; Heuck Friedjof


Archive | 2014

Micromechanical component for use in e.g. sensor device for detecting mass of adjustable part, has actuator variable in shape such that restoring force is exerted on spring and/or adjustable part, and part is displaceable into movement

Schatz Frank; Heuck Friedjof


Archive | 2011

Ultraschallbasierte Messvorrichtung und -verfahren

Bischopink Georg; Flik Gottfried; Schatz Frank; Graf Juergen; Henrici Fabian


Archive | 2000

Verfahren zur Eingehäusung elektronischer Bauelemente

Leiter Manfred; Weiblen Kurt; Lucas Bernhard; Schatz Frank; Beez Thomas; Seiz Juergen; Baumann Helmut; Moersch Gilbert; Olbrich Herbert; Eisenschmid Heinz; Moess Eberhard; Dutzi Joachim; Kugler Andreas


Archive | 2018

Mikrospiegelvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Mikrospiegelvorrichtung

Muchow Joerg; Schatz Frank; Grutzeck Helmut


Archive | 2018

MICROMIRROR DEVICE AND METHOD FOR OPERATING A MICROMIRROR DEVICE

Muchow Joerg; Schatz Frank; Grutzeck Helmut

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