Werner Fuchs

Absolute Distanzinterferometrie mit variabler synthetischer Wellenlänge

Seit mehreren Jahren gibt es Versuche, konventionelle Laserinterferometer durch absolut messende Systeme abzulösen. Um die Mehrdeutigkeiten in der interferometrischen Längenmessung zu beseitigen, wird in der Regel der Einsatz von mehreren verschiedenen Laserwellenlängen vorgeschlagen. Mit der Entwicklung durchstimmbarer Laserquellen gewinnen Methoden an Bedeutung, die eine variable Wellenlänge nutzen. Sie bilden eine Alternative zu den bekannten Multi-Wellenlängen-Verfahren. Während der Laserdurchstimmung wird die von der Reflektorentfernung abhängige Gesamtphasenwinkeländerung des Interferenzsignals gemessen. Phasenwinkeländerungen werden jedoch auch durch Brechzahlschwankungen im durchstrahlten optischen Medium und Vibrationen des Retroreflektors hervorgerufen. Diese Störungen können beseitigt werden, wenn anstelle der kurzen Lichtwellenlänge eine mit zwei Laserstrahlen generierte variable synthetische Wellenlänge (VSW) genutzt wird. Das auf dieser Grundlage entwickelte VSW-Interferometer liefert daher auch unter industriellen Einsatzbedingungen gute Ergebnisse.