半導體激光的奇蹟:為何VCSEL能同時在數千個晶片上運行?

在現今快速變化的科技環境中,垂直腔面發射激光器(VCSEL)正引領半導體激光的創新潮流。不同於傳統的邊緣發射激光器,VCSEL的激光束以垂直方式從芯片的頂部發射,這一特點使它在多項應用中變得無比重要。如今,VCSEL被廣泛應用於計算機鼠標、光纖通訊、激光打印機、面部辨識技術及智慧眼鏡等產品中。

「在VCSEL的生產過程中,過程可控性和高產量的優勢明顯。」

生產優勢

VCSEL的生產過程具有幾個明顯的優勢。傳統邊緣發射激光器通常只能在生產結束後進行測試,一旦發現故障,則會浪費大量的生產時間和材料。而VCSEL能夠在多個階段進行測試,這樣可以及早發現材料品質及工藝問題。例如,當電路的連接通道尚未完全清除印刷材料時,臨時測試可以檢測到金屬層無法正常聯接。得益於VCSEL的垂直發射特性,數十萬個VCSEL可以在一個三英寸的砷化鎵晶圓上同時處理。雖然VCSEL的生產過程相對於邊緣發射激光器來說更為勞動密集,但其預測性和最終產量卻有了顯著提高。

結構與特徵

VCSEL的激光共振腔由兩個分布式布拉格反射鏡(DBR)構成,這些鏡面平行於晶圓表面,而活躍區則由一個或多個量子井組成。這種設計使得每個層的厚度恰好為激光波長的四分之一,從而實現超過99%的反射強度。由於VCSEL需要高反射率以平衡增益區的短軸向長度,結構這一點變得尤為重要。此外,由於VCSEL的小活躍區特性,它的啟動電流也相對較低,進而導致能效更高, power consumption也有顯著降低。

「VCSEL因其上部表面發射的特性,可以在晶圓上測試,這降低了設備的製造成本。」

高功率VCSEL的應用

隨著科技的進步,高功率VCSEL的生產也取得了重大突破。通過增大單一設備的發射孔徑或將多個元件組合成大型二維陣列,科學家們成功實現了較高功率的輸出。例如,早在1993年,報道顯示就有大孔徑的單一VCSEL設備達到約100 mW的功率,而到1998年,這一數字更是突破至數百mW。這些高功率VCSEL在醫療、美容和工業等多個領域展現出其巨大的應用潛力。

歷史背景

VCSEL的發展歷程同樣令人稱奇。1965年,Ivars Melngailis報告了超低溫下半導體的表面發射現象,而Kenichi Iga在1977年提出了短腔VCSEL的概念。在經歷數十年的發展後,VCSEL如今已經取代了許多短距離光纖通訊的應用,成為現如今必不可少的技術之一。

未來展望

隨著光纖通訊、激光應用及消費電子產品需求的快速增長,VCSEL的市場潛力仍然巨大。無論是醫療美容,還是自動駕駛技術,VCSEL均展現出強勁的生命力和穩定性。隨著技術的持續進步,我們有理由相信VCSEL在未來將會引領更多的創新。

在這片高速發展的科技海洋中,VCSEL的全新可能性將如何影響我們的生活和科技進步呢?

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