David V. Adams

Double-dome reactor for semiconductor processing

Thermally processing semiconductor wafers at non-ambient pressures

Pressure resistant thermal reactor system for semiconductor processing

Wafer reactor vessel window with pressure-thermal compensation

Thermal reactor for processing semiconductor wafers and a method of operating such a reactor

Zwei Kuppeln aufweisender Reaktor zur Halbleiterbehandlung

Zwei Kuppeln aufweisender Reaktor zur Halbleiterbehandlung Two domes having Descending reactor for semiconductor processing

Termische Reaktoranlage zur Bearbeitung von Halbleiterscheiben und Betriebsverfahren eines solchem Reaktors. THERMIC reactor plant for the processing of semiconductor wafers and method of operation of such a reactor.

Termische Reaktoranlage zur Bearbeitung von Halbleiterscheiben und Betriebsverfahren eines solchem Reaktors.

THERMIC reactor plant for the processing of semiconductor wafers and methods of operation of such a reactor.