Fischer Frank

Micro-mechanical component production, used as sensor element or actuator element, comprises providing functional element and/or functional layer with protective layer

Magnetisch antreibbarer Mikrospiegel

Device for detecting radiation in IR region used in the production of silicon wafers for the detection of carbon dioxide e.g. from air conditioning in vehicles, has a sensor element and filter elements which are monolithically integrated

Process for connecting a silicon plate to a further plate comprises directing a laser beam onto the further plate through the silicon plate

Mikromechanischer Massenflusssensor und Verfahren zu dessen Herstellung

MICRO MECHANICAL ELEMENT AND MANUFACTURING METHOD FOR THE SAME

Verfahren zur mikromechanischen Herstellung eines Halbleiterelements, insbesondere Beschleunigungssensors

MICROMECHANICAL COMBINED-ELEMENT AND CORRESPONDING MANUFACTURING METHOD

Verfahren und Schaltungsanordnung zum Betreiben eines durch Pulsweitenmodulation gesteuerten Elektromotors

Mikromechanische Struktur, insbesondere für einen Beschleunigungssensor oder Drehratensensor, und entsprechendes Herstellungsverfahren