Navin Suyal

Synthese und Eigenschaften von Oxycarbidglasfolien über das Sol-Gel-Verfahren

In Oxycarbidglasern werden die zweiwertigen Sauerstoffatome der SiO2-Tetraeder partiell durch den vierwertigen Kohlenstoff ersetzt, so das verbesserte thermische und mechanische Eigenschaften der Glaser und eine erhohte Resistenz gegen Kristallisation erwartet werden. Oxycarbidglaser weisen Bruchspannungen von 150+-85 MPa bis 550 +- 230 MPa und E-Moduli im Bereich von 100-110 GPa auf. Die thermischen Ausdehnungskoeffizienten liegen bei ca. 3x10 -6 / K und fur die dielektrische Konstante wird ein Wert von 4,4 bei einem dielektrischen Verlustfaktor von ca. 0,1 im Frequenzbereich von 10 Hz bis 10 kHz angegeben. Diese Kenndaten der Oxycarbidglaser lassen Anwendungen als Substrate in der Mikroelektronik und fur Laminate mit erhohter Festigkeit als moglich erscheinen. Derzeit gibt es jedoch uber Sol-Gel keine Technologie zur Herstellung grosformatiger Folien oder anderer groser Formkorper. Das Ziel der Untersuchungen bestand daher darin, ein Verfahren zur Herstellung von Siliciumoxycarbidglasfolien im Labormasstab zu entwickeln und die mechanischen und dielektrischen Eigenschaften der Folien als Funktion der Synthese- und Prozesparameter zu untersuchen.