Rudolf Stierstorfer

Piezoelectric stress liner for bulk and SOI

Halbleiterbauelement mit piezoelektrischer Schicht zur Stress-Erzeugung sowie entsprechendes Herstellungsverfahren und Betriebsverfahren

Piezoelektrischer Stress-Liner für Masse und SOI

Halbleiterbauelement mit piezoelektrischer Schicht zur Stress-Erzeugung sowie entsprechendes Herstellungsverfahren und Betriebsverfahren Semiconductor device with piezoelectric layer for stress generation and manufacturing method thereof and method of operation

Verfahren zum Betreiben eines Transistorbauelements

Verfahren zum Herstellen und Betreiben eines Halbleiterbauelents mit piezoelektrischem Stress-Liner

Piezoelektrischer Stress-Liner für Masse und SOI A piezoelectric stress liners for bulk and SOI

Verfahren zum Herstellen und Betreiben eines Halbleiterbauelents mit piezoelektrischem Stress-Liner A method of manufacturing and operating a Halbleiterbauelents piezoelectric stress liner

Verfahren zum Betreiben eines Transistorbauelements A method of operating a transistor device

A method of manufacturing and operating a Halbleiterbauelents piezoelectric stress liner