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Sakamoto Kiichi

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Featured researches published by Sakamoto Kiichi.

Archive | 2001

Maske und Verfahren zur Herstellung einer Maske sowie Elektronenstrahl-Belichtungsverfahren und Elektronenstrahl-Belichtungsvorrichtung

Sakakibara Takuyki; Sagoh Satoru; Yamazaki Satoru; Sakamoto Kiichi; Yasuda Hiroshi

Archive | 1999

Charged electron beam exposure apparatus and charged electron beam exposure method

Yamada Akio; Sakou Satoru; Watanabe Hitoshi; Yamajaki Satoru; Sakamoto Kiichi

Archive | 1999

MASK, FABRICATION METHOD THEREFOR, ELECTRON BEAM EXPOSURE METHOD, AND APPARATUS THEREOF

Sakakibara Takayuki; Sagoh Satoru; Yamazaki Satoru; Sakamoto Kiichi; Yasuda Hiroshi

Archive | 1998

Vorrichtung und Verfahren zur Belichtung mittels Ladungsträgerstrahlen

Yasuda Hiroshi; Takahashi Yasushi; Sakamoto Kiichi; Yamada Akio; Ose Yoshihisa; Kai Junichi; Fueki Shunsuke; Kawashima Kenichi

Archive | 1996

Photokathoden-Bildprojektionsapparat für die Mustergestaltung auf einer Halbleitervorrichtung.

Yamada Akio; Sakamoto Kiichi; Kudou Jinko; Yasuda Hiroshi

Archive | 1996

Elektronenstrahl-Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Anwendung derselben

Yamada Akio; Sakamoto Kiichi

Archive | 1995

Vorrichtung und Verfahren zur Lithographie mittels eines Strahls geladener Teilchen.

Sakamoto Kiichi; Yasuda Hiroshi; Yamada Akio

Archive | 1995

Herstellungsverfahren für eine Maske für lithographische Strukturierung.

Sakamoto Kiichi; Yasuda Hiroshi

Archive | 1995

Herstellungsverfahren für Halbleitervorrichtungen und durchsichtige Maske für den geladenen Teilchenstrahl.

Kataoka Toyotaka; Sakamoto Kiichi

Archive | 1994

System zur Belichtung mittels geladener Teilchenstrahlen.

Yasuda Hiroshi; Kai Junichi; Kataoka Toyotaka; Takahashi Yasushi; Miyaki Shinji; Sakamoto Kiichi

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Collaboration

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