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Wurm Stefan

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Featured researches published by Wurm Stefan.

Archive | 2007

Verfahren zur Herstellung einer photolithographischen Maske

Wurm Stefan; Schwarzl Siegfried

Archive | 2005

Wavelength selector for the soft x-ray range and the extreme ultraviolet range

Schwarzl Siegfried; Wurm Stefan

Archive | 2006

Passivierung eines Mehrschichtspiegels für extreme Ultraviolettlithografie

Schwarzl Siegfried; Wurm Stefan

Archive | 2002

Halbleiterspeichereinrichtung sowie Verfahren zu deren Herstellung

Nuetzel Joachim; Schwarzl Siegfried; Schloesser Till; Wurm Stefan

Archive | 2008

Fluids and method of forming thereof

Schwarzl Siegfried; Wurm Stefan

Archive | 2007

EUV-Lithographiesystem und Retikelhalter zum Lösen von Retikeln in einer vakuumisolierten Umgebung

Schwarzl Siegfried; Wurm Stefan

Archive | 2006

Verfahren zum Untersuchen einer Lithographiemaske sowie Verwendung einer zugehörigen Vorrichtung

Schwarzl Siegfried; Wurm Stefan

Archive | 2006

Verfahren zum Untersuchen einer Lithographiemaske mittels eines elektronischen Mikroskopieverfahrens

Schwarzl Siegfried; Wurm Stefan

Archive | 2005

Vorrichtung für die Erzeugung und/oder Beeinflussung elektromagnetischer Strahlung eines Plasmas

Schwarzl Siegfried; Wurm Stefan

Archive | 2005

Wellenlängenselektor für den weichen Röntgen- und den extremen Ultraviolettbereich

Schwarzl Siegfried; Wurm Stefan

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Collaboration

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Schwarzl Siegfried

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Nuetzel Joachim

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Schloesser Till

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Engelhardt Manfred

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