Yasuo Koseki

Proposal of a High-Performance Water Purification System Based on Organic Removal Characteristic.

超純水製造装置の高性能化を実現するため, 装置の各プロセスでのTS (全蒸発残留不純物) とTOC (全有機体炭素) の除去挙動を実験と試算により検討した.超純水プロセス系では, TSとTOCの挙動から各要素からの溶出が多いことを推測できた.又一次純水プロセス系では, 活性炭吸着 (AC) のTOC除去率は, 13%と低いが, 後工程の逆浸透 (RO) の除去率を向上させる効果があり, その原因が, ROで除去しにくいTOC成分 (分子量50～1000程度) がACで除去されたためであることが, 各要素の除去モデルを用いた試算より裏付けられた.Transitional-pore (細孔半径20～1000A) の多い活性炭とシリカ, アルミナ系吸着剤を併用した有機物除去性能の高い複合吸着塔と, TOC計とTS計により各要素の流量制御機能を有する高性能超純水製造システムを提案した.

Water Quality Evaluation of the Water Purification System for 16Mbit LSI Production Using Total Solid Monitor.

半導体ウエハの洗浄工程で大量に用いられる高純度超純水の製造装置の性能を評価するため.集積度16Mbit対応超純水の水質を従来指標と新指標である全蒸発残留不純物量 (Ts : Total Solid) で, オンライン計測した.実験に供試した超純水の水質は従来指標では16Mbit対応超純水の目標値を十分満足しているものの.TS値が高いため.さらに装置の高性能化が必要なことが明確になった.水中の主不純物であるTOC (Total Organic Carbon) 値とTS値を用いて、超純水製造プロセス系の要素機器の処理性能を評価した結果, UV酸化, イオン交換, 限外濾過の各プロセスからの不純物の溶出があり, 超純水は原水とは異なり溶出成分 (57%) や難酸化性成分 (50%) が多いと推測された.