Andreas Neuber

Ver- und Entsorgung von Reinstmedien

Die Reinstmedientechnik als Teilgebiet der Reinraumtechnik und der Prozessver- und -entsorgungstechnik beschaftigt sich mit der Ver- und Entsorgung von Prozessgeraten mit Prozessmedien hoher und hochster Reinheit, einschlieslich des Recyclings und anderweitiger Wiedernutzbarmachung von Ressourcen (Abb. 8.1). Der vorliegende Abschnitt behandelt all Bereiche der Reinstmedientechnik, ausser der Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser, die in einem separaten Abschnitt behandelt werden.

Reducing semiconductor process tool resource usage – pilot project results

Applied Materials is working with customers to assess new ways to identify opportunities to reduce resources usage (energy, process chemicals/gasses) by existing semiconductor process tools. Through six customer pilot projects we have identified potential average savings of

POINT OF USE RECYCLING SYSTEM FOR CMP SLURRY

22.5K per year, for the CMP and CVD process tool examined, by using a consultative service approach to business and financial analysis that pinpoints opportunities for process resource reduction without diverting critical engineering personnel from their core responsibilities.