Grit Schwalbe

Bitline contacts in a memory cell array

Method and arrangement for contacting terminals

Method for patterning dielectric layers on semiconductor substrates

Method for providing bitline contacts in a memory cell array and a memory cell array having bitline contacts

A process for structuring dielectric layers on a semiconductor substrate and for etching of small diameter contact holes and drains with high precision

Verfahren und Anordnung zum Kontaktieren von Anschlüssen eines Bipolartransistors Method and apparatus for contacting terminals of a bipolar transistor

Verfahren und Anordnung zum Kontaktieren von Anschlüssen

Method and arrangement for contacting terminals of a bipolar transistor

Contacts de ligne binaire dans une matrice de cellules memoire

Verfahren zum Ätzen von Kontaktlöchern mit geringem Durchmesser