Gruner Toralf | Researchain

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Featured researches published by Gruner Toralf.

Archive | 2008

Beleuchtungssystem für eine Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage, Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen Beleuchtungssystem, Verfahren zur Herstellung eines mikrostruktuierten Bauelements mit einer derartigen Projektionsbelichtungsanlage sowie durch dieses Verfahren hergestelltes mikrostrukturiertes Bauelement

Gruner Toralf; Totzeck Michael

Archive | 2005

Mikroskopisches Abbildungssystem und Verfahren zur Emulation eines hochaperturigen Abbildungssystems, insbesondere zur Maskeninspektion

Harnisch Wolfgang; Schuster Karl-Heinz; Scheruebl Thomas; Greif-Wuestenbecker Joern; Rosenkranz Norbert; Totzeck Michael; Stroessner Ulrich; Feldmann Heiko; Gruner Toralf

Archive | 2003

Projection lighting system for imaging one object near another such as in lithographic printing processes having different lens groups of selected materials

Schuster Karl-Heinz; Ulrich Wilhelm; Gruner Toralf; Kraehmer Daniel; Singer Wolfgang; Epple Alexander; Beierl Helmut; Garreis Reiner

Archive | 2013

Imaging optical system for imaging object field in object plane onto image field in image plane by projection lens of extreme-ultraviolet lithography system, has obscuration aperture to reflect light incidented on optically inactive surface

Gruner Toralf

Archive | 2013

Optische Anordnung, EUV-Lithographieanlage und Verfahren zum Konfigurieren einer optischen Anordnung

Baer Norman; Gruner Toralf; Loering Ulrich

Archive | 2012

CATADIOPTRIC PROJECTION OBJECTIVE INCLUDING A REFLECTIVE OPTICAL COMPONENT AND A MEASURING DEVICE

Bleidistel Sascha; Gruner Toralf; Zaczek Christoph; Mueller Ralf

Archive | 2009

Optisches System einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage

Mueller Ralf; Gruner Toralf; Totzeck Michael; Feldmann Heiko; Paul Hans-Jochen

Archive | 2007

METHOD OF CORRECTING LITHOGRAPHY PROJECTION OBJECTIVE, AND THE OBJECTIVE

Ulrich Wilhelm; Okon Thomas; Wabra Norbert; Gruner Toralf; Bittner Boris; Graeschus Volker

Archive | 2006

MICROSCOPE FOCUSING SYSTEM, AND METHOD ESPECIALLY FOR INSPECTING MASK FOR EMULATING HIGH-APERTURE FOCUSING SYSTEM

Harnisch Wolfgang; Scheruebl Thomas; Rosenkranz Norbert; Schuster Karl-Heinz; Greif-Wuestenbecker Joern; Totzeck Michael; Stroessner Ulrich; Gruner Toralf; Feldmann Heiko

Archive | 2002