Harald Heinrich

Identifikation von Ablauffamilien zur Integration flussorientierter Fertigungsstrukturen in der Halbleiterproduktion

Sehr kurze Produktlebenszyklen und ein starker Preisverfall fordern von Unternehmen der High Tech Branche hohe Innovationsgeschwindigkeit und kurze Markteinfuhrungszeiten. Kurze Durchlaufzeiten ermoglichen durch kurze Lernzyklen einen erfolgreichen Serienanlauf. Flussorientierte Fertigungsorganisationen fuhren zu kurzen Durchlaufzeiten und werden seit vielen Jahrzehnten mit grosem Erfolg z.B. in der Automobilindustrie eingesetzt. Im Gegensatz hierzu sind nahezu alle weltweit bekannten Fabrikationsstatten fur die Chip-Herstellung auch heute noch nach dem Verrichtungsprinzip organisiert. Die raumliche und organisatorische Zusammenfassung gleichartiger Maschinen ermoglicht zwar eine gute Nutzung der Ressourcen fur die Prozessentwicklung und Produktion, nachteilig sind jedoch die hohen Bestande, langen Durchlaufzeiten und geringe Termintreue. Eine Grundvoraussetzung fur die Anwendung des Flussprinzips und eine materialflussgerechte Reorganisation der Fertigung ist die Identifikation von Produkten mit identischen bzw. ahnlichen Fertigungsablaufen und ihre Zusammenfassung zu Ablauffamilien. Schwerpunkt des Beitrags ist die Vorstellung eines auf der Clusteranalyse basierenden Verfahrens zur Identifikation von Ablauffamilien.

Rules of automation for 200mm semiconductor manufacturing environment

This article focuses on Infineons consequent way to retain their European facilities by designing and building a high profitable eight inch manufacturing environment. The challenges for automation in such an environment are discussed and practical experiences are presented. Based on more than 7 years of automation experiences, we developed summarized rules of automation. We will show the advantages and benefits of our automation strategy for high volume/high mix eight inch facilities.

Pursuing the Increase of Factory Automation in 200mm Frontend Manufacturing to Manage the Changes Imposed by the Transitionfrom High-Volume Low-Mix to High-Mix Low-Volume Production

We regard the stringent adoption of factory automation as the right strategy to efficiently leverage a 200 mm fabs competitiveness. In this article we exemplarily show how the Dresden fab cut its own path in the face of the transition challenge from a high-volume low-mix fab to a high-mix low-volume fab. We discuss the advantages of our conveyor type transport system with respect to our automation strategy and its extendibility to direct tool loading. A comparison of our transport system with typical 300 mm performance data and current ITRS requirements [1] is presented. We describe the positive influence of the taken factory automation measures on typical key manufacturing indicators like cycle time, tool utilization, head count efficiency, variability improvement, cost efficiency and quality.