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Dive into the research topics where Keizo Hirai is active.

Publication


Featured researches published by Keizo Hirai.


Archive | 1999

CMP POLISHING SOLUTION

Satohiko Akahori; Toranosuke Ashizawa; Keizo Hirai; Yoshio Kurihara; 圭三 平井; 美穂 栗原; 寅之助 芦沢; 聡彦 赤堀


Archive | 2000

Polishing agent and polishing process using the same

Satohiko Akahori; Toranosuke Ashizawa; Keizo Hirai; Yasushi Kurata; Yoshio Kurihara; Yoichi Machii; Masato Yoshida; 靖 倉田; 誠人 吉田; 圭三 平井; 美穂 栗原; 洋一 町井; 寅之助 芦沢; 聡彦 赤堀


Archive | 1997

RESIN PASTE, FORMATION OF FILM, ELECTRONIC PART AND SEMICONDUCTOR DEVICE

Keizo Hirai; Tomohiro Hirata; Hiroshi Nishizawa; Toichi Sakata; 淘一 坂田; 圭三 平井; 知広 平田; ▲広▼ 西澤


Archive | 1999

CMP GRINDING LIQUID

Satohiko Akahori; Toranosuke Ashizawa; Keizo Hirai; Yasushi Kurata; Yoshio Kurihara; 靖 倉田; 圭三 平井; 美穂 栗原; 寅之助 芦沢; 聡彦 赤堀


Archive | 2002

Polishing agent and method for polishing substrate

Satohiko Akahori; Toranosuke Ashizawa; Keizo Hirai; Yoshio Kurihara; 圭三 平井; 美穂 栗原; 寅之助 芦沢; 聡彦 赤堀


Archive | 2005

Method for forming element isolation

Satohiko Akahori; Toranosuke Ashizawa; Keizo Hirai; Yasushi Kurata; Hiroto Otsuki; 靖 倉田; 裕人 大槻; 圭三 平井; 寅之助 芦沢; 聡彦 赤堀


Archive | 1998

POLISHING AGENT FOR USE IN CMP AND METHOD FOR POLISHING SUBSTRATE THEREWITH

Satohiko Akahori; Toranosuke Ashizawa; Keizo Hirai; Naoyuki Koyama; Yoshio Kurihara; Takayuki Senda; 孝之 千田; 直之 小山; 圭三 平井; 美穂 栗原; 寅之助 芦沢; 聡彦 赤堀


Archive | 2008

Manufacturing method of cerium oxide, cerium oxide abrasive, grinding method of substrate therewith, and manufacturing method of semiconductor device

Toranosuke Ashizawa; Keizo Hirai; Jun Matsuzawa; Hiroto Otsuki; Atsushi Sugimoto; Masato Yoshida; 誠人 吉田; 裕人 大槻; 圭三 平井; 淳 杉本; 純 松沢; 寅之助 芦沢


Archive | 2005

Liquid additive for cmp abrasive

Satohiko Akahori; Toranosuke Ashizawa; Keizo Hirai; Yasushi Kurata; Yoshio Kurihara; Masato Yoshida; 靖 倉田; 誠人 吉田; 圭三 平井; 美穂 栗原; 寅之助 芦沢; 聡彦 赤堀


Archive | 2000

酸化セリウムの製造方法、酸化セリウム研磨剤、これを用いた基板の研磨方法及び半導体装置の製造方法

Toranosuke Ashizawa; Keizo Hirai; Jun Matsuzawa; Hiroto Otsuki; Atsushi Sugimoto; Masato Yoshida; 誠人 吉田; 裕人 大槻; 圭三 平井; 淳 杉本; 純 松沢; 寅之助 芦沢

Collaboration


Dive into the Keizo Hirai's collaboration.

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