Manfred Hain

Method for the anisotropic etching of an aluminiferous layer

Void-free trench filling process

Process for producing an integrated semiconductor circuit

Integrated semiconductor circuit with capacitors of precisely defined capacitance and process for producing the circuit

Speicherzellenanordnung mit auf einer Grabenseitenwand angeordnetem Floating-Gate und Herstellungsverfahren Memory cell arrangement with arranged on a grave side wall floating gate and manufacturing processes

Speicherzellenanordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren Memory cell array and method of manufacture

Halbleitervorrichtung und entsprechendes Herstellungsverfahren A semiconductor device and manufacturing method thereof

Réseau de cellules de mémoire et procédé de fabrication

Memory cell array and corresponding production method

Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterstruktur mit einer Mehrzahl von Gräben A method of fabricating a semiconductor structure having a plurality of trenches