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Schilp Andrea

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Featured researches published by Schilp Andrea.

Archive | 1998

Anisotropes fluorbasiertes Plasmaätzverfahren für Silicium

Laermer Franz Dr; Schilp Andrea

Archive | 1995

Verfahren zur Bearbeitung von Silizium

Benz Gerhard Dr; Muenzel Horst Dipl Phys Dr; Laermer Franz Dr; Schilp Andrea

Archive | 1998

Method of processing silicon

Schilp Andrea; Benz Gerhard; Muenzel Horst; Laermer Franz

Archive | 1999

Vorrichtung und Verfahren zum Hochratenätzen eines Substrates mit einer Plasmaätzanlage und Vorrichtung und Verfahren zum Zünden eines Plasmas und Hochregeln oder Pulsen der Plasmaleistung

Becker Volker; Laermer Franz; Schilp Andrea; Beck Thomas

Archive | 1999

Vorrichtung zum anisotropen Ätzen von Substraten

Becker Volker; Laermer Franz Dr; Schilp Andrea

Archive | 1997

Verfahren zur Herstellung von mikromechanische Strukturen aufweisenden Halbleiterbauelementen

Laermer Franz Dr; Schilp Andrea

Archive | 2007

ANISOTROPIC ETCHING METHOD FOR SILICON

Laermer Franz; Schilp Andrea

Archive | 2000

VERFAHREN ZUM ANISOTROPEN PLASMAÄTZEN VON HALBLEITERN

Laermer Franz; Schilp Andrea

Archive | 1995

Method for producing micromechanical components

Benz Gerhard Dr; Marek Jiri Dr Ing Dr; Willmann Martin Dr Ing Dr; Bantien Frank Dipl Phys Dr; Muenzel Horst Dipl Phys Dr; Laermer Franz Dr; Offenberg Michael Dr Ing Dr; Schilp Andrea

Archive | 2004

Verfahren zur Erzeugung einer SOI-Struktur mit einer Isolationsschicht auf einem Siliziumwafer und einer darauf epitaktisch aufgebrachten Siliziumschicht

Laermer Franz; Schilp Andrea

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Collaboration

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Laermer Franz

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Laermer Franz Dr

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Becker Volker

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Breitschwerdt Klaus

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Benz Gerhard Dr

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Funk Karsten

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Elsner Bernhard

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Kulcke Hans-Martin

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Muenzel Horst Dipl Phys Dr

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Muenzel Horst

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