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Dive into the research topics where Schumann Dirk is active.

Publication


Featured researches published by Schumann Dirk.


Archive | 2001

Verfahren zur Herstellung eines HF-FET und HF-FET

Cappellani Annalisa; Lustig Bernhard; Eibel Norbert; Schumann Dirk


Archive | 2006

METHOD FOR THE PRODUCTION OF A MOSFET WITH VERY SMALL CHANNEL LENGTH

Cappellani Annalisa; Dittmar Ludwig; Schumann Dirk


Archive | 2001

Verfahren zum Herstellen einer Barriereschicht in einem elektronischen Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines elektronischen Bauelements mit einer Barriereschicht

Cappellani Annalisa; Willer Josef; Schumann Dirk


Archive | 2000

Production of trench capacitors in a p-doped silicon layer used for DRAMs and ferroelectric semiconductor storage devices comprises using electrodes and a capacitor dielectric

Birner Albert; Goldbach Matthias; Schumann Dirk


Archive | 2007

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER INTEGRIERTEN SCHALTUNGSANORDNUNG MIT MINDESTENS EINEM KONDENSATOR

Schumann Dirk; Sell Bernhard; Willer Josef


Archive | 2006

Grabenstruktur für eine Halbleiterschaltungsanordnung

Goldbach Matthias; Birner Albert; Schumann Dirk; Luetzen Joern


Archive | 2005

Integrierte Speicherzellenanordnung mit mindestens einem Kondensator und einem Transistor und Verfahren zur Herstellung einer integrierten Speicherzelle

Sell Bernhard; Willer Josef; Schumann Dirk


Archive | 2004

Verfahren zur Herstellung von Feldeffekttransistoren mit erhöhten Source/Drain-Gebieten

Cappellani Annalisa; Curello Giuseppe; Schumann Dirk


Archive | 2003

Production of layer stack on substrate used in manufacture of dynamic random access memory comprises forming mesopores in substrate, forming silicon oxide and bar regions, exposing bar regions, and epitaxially growing silicon on bar regions

Birner Albert; Luetzen Joern; Goldbach Matthias; Breuer Steffen; Schumann Dirk


Archive | 2003

Trench capacitor, memory cell, method for fabricating a trench capacitor and method for fabricating a memory cell

Schumann Dirk; Sell Bernhard; Saenger Annette

Collaboration


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