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土肥 俊郎

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Featured researches published by 土肥 俊郎.

Journal of Advanced Mechanical Design Systems and Manufacturing | 2011

Wear-Resistance of Coating Films on Hob Cutting Teeth (Intermittent Cutting Tests with a Flytool)

Umezaki Yoji; 梅崎 洋二; 舟木 義行; Funaki Yoshiyuki; 黒河 周平; Kurokawa Syuhei; Ohnishi Osamu; 大西 修; 土肥 俊郎; Doi Toshiro

Journal of The Japan Society for Precision Engineering | 2007

Trend of Semiconductor Devices and Planarization Technology with Future Development( Planarization Technology of Semiconductor Device)

土肥 俊郎; Doi Toshiro; Hiyama Hirokuni; 檜山 浩国; Fukuda Akira; 福田 明; Kurokawa Shuhei; 黒河 周平

Journal of The Japan Society for Precision Engineering | 2011

CMP Characteristics and Mechanisms of Glass Substrate by Both Conventional Cerium Oxide (CeO2) Slurry and New Manganese Oxide Slurry for Replacing CeO2 Abrasive

山崎 努; 土肥 俊郎; 黒河 周平; 大西 修; 畝田 道雄; 梅崎 洋二; 山口 靖英; 岸井 貞浩

精密工学会学術講演会講演論文集 2015年度精密工学会春季大会 | 2015

革新的“Plasma fusion CMP装置”の設計・試作（第12報）

塩澤 昂祐; 平岡 佑太; 佐野 泰久; 土肥 俊郎; 黒河 周平; 會田 英雄; 大山 幸希; 宮下 忠一; 住澤 春男; 山内 和人

Transactions of the JSME (in Japanese) | 2015

革新的概念に基づく超高効率加工技術の構築（ダイラタンシー・パッド工具と液中加工システムによるSiC基板の効果的加工プロセスの確立）

土肥 俊郎; 瀬下 清; 山崎 努; 大坪 正徳; 西澤 秀明; 村上 幸; 市川 大造; 中村 由夫; 宮下 忠一; 川村 佳秀; 高木 正孝; 柏田 太志; 曾田 英雄

精密工学会学術講演会講演論文集 2014年度精密工学会秋季大会 | 2014

革新的CMP/P-CVM融合加工装置の設計・試作（第11報）

大山 幸希; 土肥 俊郎; 佐野 泰久; 黒河 周平; 會田 英雄; 塩澤 昂祐; 宮下 忠一; 金 聖祐

精密工学会学術講演会講演論文集 2014年度精密工学会春季大会 | 2014

革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第10報）

塩澤 昂祐; 佐野 泰久; 土肥 俊郎; 黒河 周平; 會田 英雄; 宮下 忠一; 住澤 春男; 山内 和人

The Proceedings of Conference of Kyushu Branch | 2012

B24 高圧雰囲気対応型CMP装置によるSiCウエハの加工特性 : 酸化剤添加MnO_2スラリーを用いたCMP加工特性(B2 材料の成形加工とき裂)

土肥 俊郎; 黒河 周平; 大西 修; 山崎 努

Journal of the Japan Society of Grinding Engineers | 2012

化合物半導体基板の研磨/CMP加工 : 加工メカニズムに基づくGaAs結晶とCdTe結晶のCMPスラリー

Ohnishi Osamu; 大西 修; Yamazaki Tsutomu; 山崎 努; 會田 英雄; Aida Hideo; 黒河 周平; Kurokawa Syuhei; Doi Toshiro; 土肥 俊郎

The Proceedings of Conference of Kyushu Branch | 2011

OS1-3 マイクロ歯車のかみ合いとその精度計測のための微小径ロータリエンコーダの開発(OS1-I・A1 機械要素の強度評価と性能向上・加工)

黒河 周平; 梅崎 洋二; 松川 洋二; 大西 修; 畝田 道雄; 土肥 俊郎

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Collaboration

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黒河 周平

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Doi Toshiro

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梅崎 洋二

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Kurokawa Syuhei

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Umezaki Yoji

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松川 洋二

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Matsukawa Yoji

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Yamazaki Tsutomu

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Kurokawa Shuhei

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Ohnishi Osamu

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