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Arnz Michael

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Featured researches published by Arnz Michael.

Archive | 2010

Verfahren und Vorrichtung zur subpixelgenauen Positionsbestimmung einer Kante einer Markerstruktur in einer Vielzahl von Aufnahmepixeln aufweisenden Aufnahme der Markerstruktur

Arnz Michael

Archive | 2011

Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der relativen Lage einer ersten Struktur zu einer zweiten Struktur oder eines Teiles davon

Arnz Michael; Seidel Dirk

Archive | 2009

Autofocus device for imaging device, has imaging optics provided with focal planes, where pre-determined distance and relative position of focal planes are controlled for object table such that object is positioned in former focal plane

Arnz Michael; Betz Volkmar; Klose Gerd; Levtonov Mikhail

Archive | 2009

Dynamic measuring device for mapping stability of optical imaging system, has object structure, where lighting system is provided for generating electromagnetic radiation during operation of measuring device

Arnz Michael; Manger Matthias

Archive | 2010

Verfahren und Vorrichtung zur Messung des relativen lokalen Lagefehlers eines der Abschnitte eines abschnittsweise belichteten Objektes

Arnz Michael; Beyer Dirk; Harnisch Wolfgang; Scheruebl Thomas

Archive | 2013

Messvorrichtung zum Vermessen einer Beleuchtungseigenschaft

Arnz Michael; Deguenther Markus

Archive | 2010

Verfahren zum Kalibrieren eines Probentisches eines Metrologiesystems sowie Metrologiesystem mit einem Probentisch

Huebel Alexander; Klose Gerd; Schellhorn Uwe; Manger Matthias; Arnz Michael

Archive | 2016

Verfahren und Vorrichtung zum Ermitteln eines lateralen Versatzes eines Musters auf einem Substrat relativ zu einer Sollposition

Arnz Michael; Seidel Dirk

Archive | 2010

A method of characterizing a pattern on a mask and apparatus for carrying out the method

Arnz Michael; Klose Gerd; Seidel Dirk

Archive | 2010

Verfahren zur Charakterisierung einer Struktur auf einer Maske und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens A method of characterizing a pattern on a mask and apparatus for carrying out the method

Arnz Michael; Klose Gerd; Seidel Dirk

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Collaboration

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Klose Gerd

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Seidel Dirk

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Manger Matthias

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Betz Volkmar

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Beyer Dirk

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Deguenther Markus

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Harnisch Wolfgang

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Huebel Alexander

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Levtonov Mikhail

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Mann Hans-Juergen

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