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Mann Hans-Juergen

Carl Zeiss AG

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Publication

Featured researches published by Mann Hans-Juergen.

Archive | 2009

Projection exposure apparatus for semiconductor lithography comprising a device for the thermal manipulation of an optical element

Hauf Markus; Bleidistel Sascha; Migura Sascha; Mann Hans-Juergen; Enkisch Hartmut; Zellner Johannes; Schottner Michael; Kraehmer Daniel; Totzeck Michael; Dodoc Aurelian; Hetzler Jochen; Beierl Helmut; Ulrich Wilhelm

Archive | 2011

Abbildende Optik zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld sowie Beleuchtungsoptik zur Ausleuchtung eines Objektfeldes

Mann Hans-Juergen; Zellner Johannes; Dodoc Aurelian; Pretorius Marco; Menke Christoph; Endres Martin; Wilhelm Ulrich

Archive | 2009

Imaging optical system and projection exposure apparatus for microlithography comprising an imaging optical system of this type

Mann Hans-Juergen; Ulrich Wilhelm; Mullender Stephan; Enkisch Hartmut

Archive | 2007

Projection objective having mirror element with reflective coating

Chan Danny; Mann Hans-Juergen

Archive | 2009

Abbildende Optik, Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit einer derartigen abbildenden Optik sowie Verfahren zur Herstellung eines mikrostrukturierten Bauteils mit einer derartigen Projektionsbelichtungsanlage

Mann Hans-Juergen

Archive | 2005

EUV-Projektionsobjektiv sowie Verfahren zu dessen Herstellung

Mann Hans-Juergen; Muellender Stephan; Trenkler Johann; Enkisch Hartmut

Archive | 2003

Objektiv mit Pupillenobskuration

Mann Hans-Juergen; Ulrich Wilhelm

Archive | 2012

Projektionsobjektiv einer für EUV ausgelegten mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, sowie Verfahren zum optischen Justieren eines Projektionsobjektives

Enkisch Hartmut; Muellender Stephan; Mann Hans-Juergen; Freimann Rolf

Archive | 2004

Projektionsoptik für die Lithographie und Spiegel für eine solche

Sand Rolf; Mann Hans-Juergen; Ulrich Wilhelm

Archive | 2011

Beleuchtungsoptik für ein Metrologiesystem für die Untersuchung eines Objekts mit EUV-Beleuchtungslicht sowie Metrologiesystem mit einer derartigen Beleuchtungsoptik

Mann Hans-Juergen; Herkommer Alois

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Collaboration

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Ulrich Wilhelm

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Dodoc Aurelian

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Enkisch Hartmut

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Chan Danny

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Pretorius Marco

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Schottner Michael

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Totzeck Michael

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Zellner Johannes

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Boehm Thure

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Burkart Stefan

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