Dietrich Schubert

Micromechanical triaxial acceleration sensor for automotive applications

A micromechanical triaxial acceleration sensor for automotive applications has been realised that has all three axis integrated into one single transducer element. Prototypes of the sensor were fabricated using a standard Bosch surface micromachining process. The active electromechanical transducer element requires less than 1 mm/sup 2/ of chip area. Open-loop capacitive readout is used to evaluate the sensor, which operates in a three-mass-oscillator configuration. X, Y and Z-axis sensitivities of 0.55 fF/G, 0.4 fF/G and 0.99 fF/G have been achieved.

Dreiachsiger Beschleunigungssensor in Oberflächenmikromechanik (Surface Micromachined Triaxial Accelerometer)

Abstract Prototypen eines oberflächenmikromechanischen dreiachsigen Beschleunigungssensors mit kapazitiver Auswertung nach dem Ausschlagverfahren wurden entworfen und realisiert. Das Funktionsprinzip wird dargestellt und mit vorhandenen Lösungen verglichen. Entwurf, Modellbildung, Herstellungsverfahren und erste Messergebnisse werden erörtert.