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Kirchhoff Markus

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Featured researches published by Kirchhoff Markus.

Archive | 2000

Herstellungsverfahren für eine halbleiterstruktur

Genz Oliver; Kirchhoff Markus; Machill Stefan; Reb Alexander; Schmidt Barbara; Stavrev Momtchil; Stegemann Maik; Wege Stephan

Archive | 2001

Electrical wiring of integrated circuit and its manufacturing method

Kirchhoff Markus; Rogalli Michael; Wege Stephan

Archive | 2006

IMPROVED GAPFILL OF SEMICONDUCTOR STRUCTURE USING DOPED SILICATE GLASSES WITH MULTI-STEP DEPOSITION/ANNEAL PROCESS

Kirchhoff Markus; Ilg Matthias

Archive | 2003

Photolithographisches Strukturierungsverfahren mit einer durch ein plasmaunterstützes Abscheideeverfahren hergestellten Kohlenstoff-Hartmaskenschicht diamantartiger Härte

Kirchhoff Markus; Wege Stephan; Stegemann Maik; Vogt Mirko

Archive | 2001

Method for filling depressions in a surface of a semiconductor structure, and a semiconductor structure filled in this way

Kirchhoff Markus

Archive | 2005

Verfahren zur Bildung eines Kontaktlochs in einer Halbleiterschaltungsanordnung

Kirchhoff Markus; Lahnor Peter; Wege Stephan

Archive | 2003

Verfahren zur Herstellung einer integrierten Halbleiterschaltung

Kirchhoff Markus

Archive | 2001

Verfahren zum Auffüllen von Vertiefungen in einer Oberfläche einer Halbleiterstruktur und eine auf diese Weise aufgefüllte Halbleiterstruktur

Kirchhoff Markus

Archive | 2003

Fabrication of integrated semiconductor circuit involves bringing substrate as electrode into contact with electrolysis liquid and carrying out electrolysis

Schrems Martin; Kirchhoff Markus

Archive | 2008

Photolithographisches verfahren zum ausbilden einer struktur in einem halbleitersubstrat

Kirchhoff Markus; Vogt Mirko; Wege Stephan; Katzwinkel Frank

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Wege Stephan

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Rogalli Michael

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Vogt Mirko

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Genz Oliver

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Ilg Matthias

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Katzwinkel Frank

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Machill Stefan

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Reb Alexander

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Stegemann Maik

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