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Georg Sulzer

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Featured researches published by Georg Sulzer.

Archive | 2002

Method of defining the dimensions of circuit elements by using spacer deposition techniques

Martin Mazur; Carsten Hartig; Georg Sulzer

Archive | 2001

Method of inspecting a depth of an opening of a dielectric material layer

Frank Heinlein; Georg Sulzer

Archive | 2003

Low-k dielectric layer stack including an etch indicator layer for use in the dual damascene technique

Hartmut Ruelke; Christof Streck; Georg Sulzer

Archive | 2003

Procede permettant de definir les dimensions d'elements de circuits par l'utilisation de techniques de depot de couches d'espacement

Martin Mazur; Carsten Hartig; Georg Sulzer

Archive | 2002

Ein dielektrischer Schichtstapel mit kleiner Dielektrizitätskonstante einschliesslich einer Ätzindikatorschicht zur Anwendung in der dualen Damaszenertechnik

Hartmut Ruelke; Christof Streck; Georg Sulzer

Archive | 2002

Verfahren zum Definieren der Abmessung von Schaltungselementen unter Verwendung von Abscheidetechniken für Abstandselemente A method for defining the dimensions of circuit elements using deposition techniques for distance elements

Carsten Hartig; Martin Mazur; Georg Sulzer

Archive | 2002

Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturelementen A process for producing microstructure elements

Carsten Hartig; Martin Mazur; Georg Sulzer

Archive | 2002

Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturelementen

Carsten Hartig; Martin Mazur; Georg Sulzer

Archive | 2002

Ein dielektrischer Schichtstapel mit kleiner Dielektrizitätskonstante einschliesslich einer Ätzindikatorschicht zur Anwendung in der dualen Damaszenertechnik A dielectric layer stack having a low dielectric constant including a Ätzindikatorschicht for use in the dual damascene technique

Hartmut Ruelke; Christof Streck; Georg Sulzer

Archive | 2001

Verfahren zur Inspektion der Tiefe einer Öffnung in einer dielektrischen Materialschicht A method for inspection of the depth of an opening in a dielectric material layer

Frank Heinlein; Georg Sulzer

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Carsten Hartig

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Martin Mazur

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Christof Streck

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Frank Heinlein

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Hartmut Ruelke

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