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Marwene Nefzi

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Featured researches published by Marwene Nefzi.

Multibody System Dynamics | 2013

Dynamics in lithographic projection objectives

Nicolai Wengert; Marwene Nefzi; Peter Eberhard; Bernhard Geuppert

Archive | 2015

Spiegelanordnung, insbesondere für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage

Marwene Nefzi; Jens Prochnau; Jens Kugler

Archive | 2016

Verstellsystem-Bauelement, Baugruppe, Spiegelanordnung und Projektionsbelichtungsanlage für dieMikrolithographie

Marwene Nefzi; Jens Prochnau

Archive | 2016

CONSTITUENT BODY AND LITHOGRAPHY DEVICE WITH CONSTITUENT BODY

Marwene Nefzi; Jens Prochnau

Archive | 2016

Beweglich gelagertes Bauteil einer Projektionsbelichtungsanlage sowie Vorrichtung und Verfahren zur Bewegungsbegrenzung hierfür

Jens Prochnau; Marwene Nefzi; Dirk Schaffer

Archive | 2016

SPIEGELANORDNUNG MIT VERSTELLBAREN SPIEGELN FÜR PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGEN SOWIE ENTSPRECHENDE PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE

Boaz Pnini-Mittler; Marwene Nefzi; Jens Kugler; Henner Baitinger

Archive | 2016

Optical system, aperture and lithography system

Stacy Figueredo; Jens Kugler; Marwene Nefzi; Joachim Hartjes; Stefan Hembacher

Archive | 2016

Verstellsystem-Bauelement, Spiegelanordnung und Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie

Marwene Nefzi; Jens Prochnau; Ralf Wichard

Archive | 2016

Projektionsbelichtungsanlage mit Aktuatorseilen

Marwene Nefzi; Stefan Hembacher; Jens Prochnau; Dirk Schaffer; Jens Kugler

Archive | 2016

Anordnung und Lithographieanlage mit Anordnung

Marwene Nefzi; Jens Prochnau

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Jens Prochnau

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Dirk Schaffer

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Stefan Hembacher

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Henner Baitinger

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Joachim Hartjes

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Ralf Wichard

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Bernhard Geuppert

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Boaz Pnini-Mittler

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Markus Hauf

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