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Wangler Johannes

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Featured researches published by Wangler Johannes.

Archive | 1993

ANORDNUNG ZUR KOHAERENZREDUKTION UND STRAHLFORMUNG EINES LASERSTRAHLS

Wangler Johannes

Archive | 1996

Beleuchtungseinrichtung für ein Projektions-Mikrolithographie-Gerät

Wangler Johannes; Ittner Gerhard

Archive | 1995

Illumination device esp. for microlithographic projection exposure

Wangler Johannes

Archive | 1996

REMA-Objektiv für Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlagen

Fuerter Gerd; Dinger Udo; Wangler Johannes; Ittner Gerhard

Archive | 2001

Beleuchtungssystem für die Mikrolithographie

Koehler Jess; Wangler Johannes

Archive | 2008

Faltungsgeometrien für EUV-Beleuchtungssysteme

Singer Wolfgang; Antoni Martin; Wangler Johannes

Archive | 2009

Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung von Mehrfachspiegelanordnungen, optische Anordnung mit einer derartigen Vorrichtung sowie mit einer zweiten Mehrfachspiegelanordnung zum Ein- und Ausschalten einer ersten Mehrfachspiegelanordnung sowie Beleuchtungsoptik für eine Projektionsbelichtungsanlage mit einer derartigen Vorrichtung

Deguenther Markus; Patra Michael; Layh Michael; Wangler Johannes; Maul Manfred; Fiolka Damian

Archive | 2003

ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM PROVIDED WITH NESTED CONDENSER

Singer Wolfgang; Antoni Martin; Wangler Johannes; Egle Wilhelm; Banine Vadim Yevgenyevich; Loopstra Erik Roelof

Archive | 2005

Lighting for microlithography projection exposure system, includes two dimensional light distribution device with two raster devices for receiving light from primary and secondary sources

Wangler Johannes

Archive | 2004

LIGHTING SYSTEM COMPRISING A DEVICE FOR ADJUSTING THE LIGHT INTENSITY

Singer Wolfgang; Antoni Martin; Melzer Frank; Wangler Johannes; Hainz Joachim; Wietzorrek Joachim; Maul Manfred; Weiss Markus

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Collaboration

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Singer Wolfgang

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Deguenther Markus

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Schultz Joerg

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Antoni Martin

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Ittner Gerhard

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Koehler Jess

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Layh Michael

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Maul Manfred

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Gruner Toralf

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Kraehmer Daniel

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